[实用新型]一种全永磁电子回旋共振离子源有效

专利信息
申请号: 202022867075.3 申请日: 2020-12-03
公开(公告)号: CN213340286U 公开(公告)日: 2021-06-01
发明(设计)人: 周小影;汪锋 申请(专利权)人: 安徽费曼尔科技有限公司
主分类号: H01J49/10 分类号: H01J49/10;H01J49/38
代理公司: 安徽盛世金成知识产权代理事务所(普通合伙) 34196 代理人: 宋萍
地址: 230000 安徽省合肥市*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 永磁 电子 回旋 共振 离子源
【说明书】:

本申请涉及一种全永磁电子回旋共振离子源,包括套设于等离子体共振腔上的中空电磁线圈,中空电磁线圈外部包覆有外部磁轭,且中空电磁线圈两端设有外端磁轭,所述外部磁轭的环形端面上开设有环绕所述中空电磁线圈设置的环形槽,所述外端磁轭与所述外部磁轭配合的端面上固定有与所述环形槽插接配合的金属固定环;所述环形槽的内壁上开设有卡接凹槽,所述金属固定环上设有嵌入所述卡接凹槽内的弹性卡接部。本申请具有防止外端磁轭从外部磁轭上脱离的效果。

技术领域

本申请涉及离子源的领域,尤其是涉及一种全永磁电子回旋共振离子源。

背景技术

微波电子回旋共振等离子体被广泛应用于材料表面进行加工,金属表面改性等领域,通过在微波电子回旋共振等离子体外加电磁线圈,产生电磁场,并在电子回旋共振腔中引发电子回旋共振以产生大量的等离子体,以用于某些材料的等离子束处理作业。目前,用来产生磁场的电磁线圈是由铜管绕制的水冷式线圈或实芯导线绕制的线圈组成,这类电磁线圈产生的磁场空间无法控制且分布不均匀,造成等离子体加工精度不高,同时电磁线圈对外电磁辐射较大,容易对人体及外部设备造成损害。

为此,申请公布号为CN104202901A的中国发明专利公开了一种微波电子回旋共振等离子体源电磁线圈,包含有中空电磁线圈,在电磁线圈外部包覆有外部磁轭,在线圈两端包覆有外端磁轭,外部磁轭与外端磁轭相连接,将整个电磁线圈完全覆盖,在外端磁轭靠近中心口处内侧设置有环形凸起,用于增强线圈内磁感应强度梯度。

该等离子体源设有的电磁线圈能够增强电磁线圈内磁感应强度,使磁场分布更加均匀,减小电磁线圈对外电磁辐射。但是,其线圈两端的外端磁轭与外部磁轭之间的连接不够紧固,在等离子源工作时却不可避免的具有震动,随着工作时间的增长,难免会造成外端磁轭的脱离,影响电磁线圈的工作。

实用新型内容

为了防止外端磁轭从外部磁轭上脱离,本申请提供一种全永磁电子回旋共振离子源。

本申请提供的一种全永磁电子回旋共振离子源采用如下的技术方案:

一种全永磁电子回旋共振离子源,包括套设于等离子体共振腔上的中空电磁线圈,中空电磁线圈外部包覆有外部磁轭,且中空电磁线圈两端设有外端磁轭,所述外部磁轭的环形端面上开设有环绕所述中空电磁线圈设置的环形槽,所述外端磁轭与所述外部磁轭配合的端面上固定有与所述环形槽插接配合的金属固定环;所述环形槽的内壁上开设有卡接凹槽,所述金属固定环上设有嵌入所述卡接凹槽内的弹性卡接部。

通过采用上述技术方案,在安装外端磁轭时,将外端磁轭靠近外部磁轭端面,使得外端磁轭上的金属固定环插接至外部磁轭环形端面上的环形槽内,然后金属固定环上的弹性卡接部嵌入环形槽内壁上的卡接凹槽内,从而使得金属固定环卡接固定于环形槽内,使得外端磁轭与外部磁轭的连接稳固,有利于防止外端磁轭从外部磁轭上脱离。

优选的,所述金属固定环的外壁上开设有伸缩槽,所述弹性卡接部包括滑动安装在伸缩槽内的伸缩块、固定于所述伸缩块与所述伸缩槽内壁之间的伸缩弹簧;所述伸缩块远离所述伸缩弹簧的一端嵌入所述卡接凹槽内。

通过采用上述技术方案,当金属固定环于环形槽内插接就位时,伸缩槽与卡接凹槽对齐,此时伸缩弹簧伸张,顶出伸缩块,使得伸缩块端部嵌入卡接凹槽内,从而实现金属固定环的卡接固定,且使得外端磁轭的安装方便。

优选的,所述伸缩块嵌入所述卡接凹槽内的端部呈半球形,且所述卡接凹槽内壁也呈半球形;所述外部磁轭外壁开设有与所述卡接凹槽内壁连通的顶压细孔。

通过采用上述技术方案,伸缩块与卡接凹槽的设置,便于伸缩块的嵌入,且顶压细孔的设置,便于操作人员通过顶压细孔借助细杆顶压伸缩块,从而便于伸缩块与卡接凹槽的脱离,方便外端磁轭的拆卸。

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