[实用新型]连续型锭生长装置

权利要求书

1.一种连续型锭生长装置，其特征在于，包括：

生长炉，在内部设置有为了形成锭而收容熔融状态的硅的主坩埚；

材料供给部，用于供给使上述熔融状态的硅熔融之前的固态硅材料；

定量供给部，通过对从上述材料供给部供给的上述固态硅材料的量进行计量，来供给规定量的固态硅材料；以及

预备熔融部，通过使从上述定量供给部供给的规定量的上述固态硅材料熔融，来向上述主坩埚供给熔融状态的硅。

2.根据权利要求1所述的连续型锭生长装置，其特征在于，上述材料供给部包括：

材料储存外罩，用于储存上述固态硅材料；以及

材料移送模块，用于向上述定量供给部侧供给储存于上述材料储存外罩的上述固态硅材料。

3.根据权利要求2所述的连续型锭生长装置，其特征在于，

上述定量供给部包括：

第一桶，用于收容从上述材料移送模块供给的上述固态硅材料；

重量检测传感器，用于对收容于上述第一桶的上述固态硅材料的量进行测定；以及

定量供给部外罩，具备用于在内部设置上述第一桶的内部空间，

根据收容于上述第一桶的上述固态硅材料的量来阻断向上述第一桶供给上述固态硅材料。

4.根据权利要求3所述的连续型锭生长装置，其特征在于，包括：

第二桶，位于上述定量供给部外罩的内部，用于向上述预备熔融部供给收容于上述第一桶的上述固态硅材料；以及

移送模块，以使上述第二桶向上述预备熔融部侧移动的方式设置于上述定量供给部外罩。

5.根据权利要求4所述的连续型锭生长装置，其特征在于，

上述第一桶及上述第二桶分别形成上侧方向开放的容器形状，上述第一桶位于上述第二桶的上部侧，

上述第一桶与用于使收容于上述第一桶的上述固态硅材料向上述第二桶移动的启动模块相结合。

6.根据权利要求5所述的连续型锭生长装置，其特征在于，上述启动模块能够使上述第一桶以与底面平行的轴为中心来进行旋转。

7.根据权利要求5所述的连续型锭生长装置，其特征在于，上述启动模块以对上述第一桶的底面进行开闭的方式设置。

8.根据权利要求4所述的连续型锭生长装置，其特征在于，

上述预备熔融部包括：

预备坩埚，用于收容上述固态硅材料；以及

预备坩埚加热模块，包括本体以及加热器，上述本体具备以能够对上述预备坩埚进行加热的方式配置上述预备坩埚的加热空间，上述加热器设置于上述本体，用于对上述预备坩埚进行加热，

上述预备坩埚加热模块的另一侧在空间上与上述定量供给部外罩的一侧相连接，以能够使通过上述移送模块移送的上述第二桶向上述加热空间的内部进入。

9.根据权利要求8所述的连续型锭生长装置，其特征在于，在上述预备坩埚加热模块与上述定量供给部外罩之间设置能够进行开闭的阻隔板。

10.根据权利要求8所述的连续型锭生长装置，其特征在于，在上述预备坩埚加热模块的一侧形成沿着朝向上述主坩埚的一侧方向开放的开口。

11.根据权利要求10所述的连续型锭生长装置，其特征在于，为了阻断上述加热空间内部的热量流失，在上述加热空间的开口的一侧或上述预备坩埚加热模块与上述定量供给部外罩在空间上相连接的另一侧中的至少一个位置还设置有绝热部件。

12.根据权利要求10所述的连续型锭生长装置，其特征在于，

上述预备坩埚形成上侧方向开放的容器形状，

朝向上述主坩埚的一侧形成开口的侧面。