[实用新型]一种半导体传感器反向封装工艺用均料设备有效

专利信息
申请号: 202022878625.1 申请日: 2020-12-05
公开(公告)号: CN214068699U 公开(公告)日: 2021-08-27
发明(设计)人: 陈力 申请(专利权)人: 福建福顺半导体制造有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/50;H01L21/56;H01L43/14
代理公司: 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 代理人: 汤东凤
地址: 350000 福建省福州*** 国省代码: 福建;35
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体 传感器 反向 封装 工艺 用均料 设备
【权利要求书】:

1.一种半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,包括均料板,所述均料板上开设有储料槽,所述均料板的上分别开设有调节槽、伸缩槽、定位槽、连接孔、收缩槽和联动槽;

内六棱螺帽,所述内六棱螺帽设置于所述调节槽的内部,所述内六棱螺帽的底端固定连接有调节螺轴,所述调节螺轴的表面螺纹连接有升降架,所述升降架的一侧固定连接有定位指针,所述定位槽的内壁固定连接有定位尺板;

伸缩管,所述伸缩管的外表面固定于所述升降架的内侧;

联动板,所述联动板的表面滑动连接于所述联动槽的内壁,所述联动板的底部固定连接有联动轴,所述联动轴的外表面套设有收紧弹簧,所述联动轴的底部固定连接有支撑架;

密封挡板,所述密封挡板的套设于所述支撑架的内侧,所述密封挡板的表面与所述伸缩管的底部滑动连接;

联动架,所述联动架套设于所述密封挡板的外侧。

2.根据权利要求1所述的半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,所述伸缩槽和所述定位槽均位于所述均料板的底部,所述伸缩槽通过所述连接孔与所述定位槽的内部相互连通。

3.根据权利要求1所述的半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,所述收缩槽位于所述储料槽的外侧,并且收缩槽的内部与所述伸缩槽的内部相互连通。

4.根据权利要求1所述的半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,所述调节螺轴的底端贯穿所述均料板且延伸至所述伸缩槽的内部,所述调节螺轴的表面与所述均料板的表面之间转动连接。

5.根据权利要求1所述的半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,所述升降架的表面与所述伸缩槽的内壁滑动连接,所述定位尺板的表面与所述定位指针的表面相适配。

6.根据权利要求1所述的半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,所述伸缩管的表面与所述收缩槽的内表面滑动连接,所述伸缩管的内径与所述收缩槽的内径差在1mm~2mm之间。

7.根据权利要求1所述的半导体传感器反向封装工艺用均料设备,其特征在于,所述联动轴的底端贯穿所述均料板且延伸至所述伸缩槽的内部,所述联动轴的表面与所述均料板之间滑动连接,所述收紧弹簧的顶部与所述联动板的底部固定,并且收紧弹簧的底部与所述联动槽内壁的底部固定。

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