[实用新型]多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构及多晶硅还原炉

权利要求书

1.一种多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于包括密封垫片、硬质密封板及紧固压紧机构，所述密封垫片设置在多晶硅还原炉底盘尾气出口的台面上，所述硬质密封板设置在密封垫片上且位于密封垫片与紧固压紧机构之间；并且，在所述紧固压紧机构沿轴向向硬质密封板施加压力，以使所述硬质密封板与密封垫片密封接合时，所述紧固压紧机构与硬质密封板的接触面积保持为点接触。

2.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述紧固压紧机构与硬质密封板配合的一端面上分布有一个突起部或凹陷部，而所述硬质密封板与紧固压紧机构配合的一端面上分布有一个凹陷部或突起部，所述突起部与凹陷部能够相互配合，且在所述硬质密封板与密封垫片密封接合时，所述突起部与凹陷部的接触面积为点接触。

3.根据权利要求2所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述紧固压紧机构与硬质密封板配合的一端面的中心处分布有一个所述突起部，而所述硬质密封板与紧固压紧机构配合的一端面的中心处分布有一个所述凹陷部。

4.根据权利要求3所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述突起部的高度大于或等于所述凹陷部的深度。

5.根据权利要求2-4中任一项所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述突起部的顶端为表面光滑的球形，而所述凹陷部与所述突起部顶端配合的内壁面为光滑面。

6.根据权利要求5所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：在所述硬质密封板与密封垫片密封接合时，所述突起部的顶端与所述凹陷部的底壁抵紧。

7.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述硬质密封板的直径与多晶硅还原炉底盘尾气出口的直径相同。

8.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述硬质密封板为钢制或耐腐蚀复合材料制成的圆盘形构件。

9.根据权利要求1所述的多晶硅还原炉底盘尾气出口的密封结构，其特征在于：所述紧固压紧机构与多晶硅还原炉底盘尾气出口的内壁通过螺纹机构配合。

10.一种多晶硅还原炉，包括钟罩和底盘，所述底盘上设置有多个尾气出口，其特征在于：其中至少一个尾气出口上设置有如权利要求1-9中任一项所述的密封结构。