[实用新型]一种计算机控制的化学机械抛光装置

权利要求书

1.一种计算机控制的化学机械抛光装置，包括抛光升降机构(1)、转动柱(13)、本体(16)、注液管(12)，其特征在于：所述抛光升降机构(1)的中部设置有升降柱(11)，所述升降柱(11)的底部固定安装有抛光盘(2)，所述抛光盘(2)的表面开设有放置槽(4)，所述抛光盘(2)的内部固定连接有第一电动伸缩杆(3)，且第一电动伸缩杆(3)以抛光盘(2)的圆心对称分布，所述第一电动伸缩杆(3)的活塞端延伸至放置槽(4)的内腔，所述第一电动伸缩杆(3)的活塞端固定连接有固定片(5)，所述抛光盘(2)的一侧固定连接有分液板(6)，所述分液板(6)的底部开设有锥形注液孔(7)，所述分液板(6)上表面的中部固定连接有增压泵(19)，所述增压泵(19)的输入端与注液管(12)固定连接。

2.根据权利要求1所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于：所述本体(16)的内部开设有转动槽(18)，所述转动槽(18)的内腔转动连接有转动板(17)，所述转动板(17)的中部固定连接有传动柱(15)，所述传动柱(15)的一端延伸至本体(16)的外部且固定连接有自锁电机(14)，所述自锁电机(14)与本体(16)固定连接。

3.根据权利要求2所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于：所述转动板(17)的一侧固定连接有转动柱(13)，且转动柱(13)与抛光升降机构(1)固定连接。

4.根据权利要求1所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于：所述抛光盘(2)的另一侧固定连接有安装箱(9)，所述安装箱(9)内腔的顶部固定安装有第二电动伸缩杆(10)，所述安装箱(9)的内腔活动套接有清理板(8)，所述清理板(8)的上表面与第二电动伸缩杆(10)的一端固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于：所述分液板(6)的下表面高于抛光盘(2)的下表面。

6.根据权利要求4所述的一种计算机控制的化学机械抛光装置，其特征在于：所述安装箱(9)的下表面高于抛光盘(2)的下表面，所述第二电动伸缩杆(10)伸展时清理板(8)的下表面低于抛光盘(2)的下表面。