[实用新型]一种晶圆切割用定位装置

权利要求书

1.一种晶圆切割用定位装置，包括载物台（1）、定位板（2）、弹出器（3）、回弹器（4）和载物箱（5），其特征在于：所述载物台（1）焊接于载物箱（5）上端，所述载物台（1）四周贯穿插接有定位板（2），所述载物台（1）底部贯穿插接有弹出器（3），弹出器（3）固定于载物箱（5）内侧底端，所述载物箱（5）插接有回弹器（4），所述回弹器（4）固定于载物箱（5）内部，所述载物箱（5）中心上端设置有激光切割刀（6）。

2.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用定位装置，其特征在于，所述定位板（2）前端固定有卡块（201），所述卡块（201）贯穿插接于载物台（1）四周，两个所述卡块（201）之间开设有固定槽（202），所述固定槽（202）插接于载物台（1）四周，所述定位板（2）一侧粘接有两个弹簧（8）。

3.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用定位装置，其特征在于，所述弹出器（3）上端固定有顶杆（301），所述顶杆（301）两侧开设有插槽（302），所述顶杆（301）两侧插接有定位插板（303），所述定位插板（303）插接于插槽（302）内，所述顶杆（301）下端粘接有弹簧（8），所述弹簧（8）粘接于固定板（304）上端。

4.根据权利要求3所述的一种晶圆切割用定位装置，其特征在于，所述固定板（304）通过螺栓（7）旋入螺纹孔（9）固定在载物箱（5）内侧底端，所述固定板（304）上端焊接有限位器（305），所述限位器（305）内侧粘接有弹簧（8），所述弹簧（8）另一侧粘接有定位插板（303），所述定位插板（303）能够在限位器（305）内侧滑动。

5.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用定位装置，其特征在于，所述回弹器（4）上下两侧贯穿插接有回弹杆（401），所述回弹杆（401）通过弹簧（8）粘连固定于回弹器（4）内部，所述回弹杆（401）顶端贯穿插接于载物箱（5）侧面，所述回弹器（4）上下两端固定有固定片（402），所述固定片（402）通过螺栓（7）旋入螺纹孔（9）固定在载物箱（5）内侧。

6.根据权利要求1所述的一种晶圆切割用定位装置，其特征在于，所述载物箱（5）内部焊接有载物板（501），所述载物板（501）上端承托有四个定位板（2），所述定位板（2）通过弹簧（8）粘接于载物箱（5）内侧。