[实用新型]调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置

权利要求书

1.一种调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置包括：

底玻璃板、顶玻璃板、设置在底玻璃板和顶玻璃板之间的压电陶瓷纳米定位器、以及与压电陶瓷纳米定位器电连接的直流调压器；

底玻璃板和顶玻璃板的厚度均为1mm并相互平行；

所述压电陶瓷纳米定位器粘接在底玻璃板和顶玻璃板之间，所述压电陶瓷纳米定位器为长×宽×高为：1.5mm×1.5mm×5mm的压电陶瓷件，在90V电压下，最大位移量为3.7μm；

所述直流调压器输入电压为交流220V，最高输出电压为100V。

2.如权利要求1所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述压电陶瓷纳米定位器的数目为四个，四个压电陶瓷纳米定位器分别位于矩形的四个角点。

3.如权利要求1所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述顶玻璃板上设有微观可视化实验用的玻璃模型，所述底玻璃板、顶玻璃板和玻璃模型均设置在高压釜内。

4.如权利要求1所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述底玻璃板设置在载物台上，所述载物台设有透光通孔，所述透光通孔与玻璃模型观察位置正对。

5.如权利要求4所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述载物台位于高压釜内。

6.如权利要求4所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述直流调压器位于高压釜之外。

7.如权利要求4所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述微观可视化实验用的玻璃模型上方设有物镜，所述物镜从高压釜之外伸入到高压釜内。

8.如权利要求4所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述载物台通过丝扣设置在垂向导轨上并能沿垂向导轨上下移动，并且所述丝扣与步进电机连接，所述步进电机与调整钮连接。

9.如权利要求8所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述调整钮设置在高压釜之外，所述垂向导轨位于高压釜内。

10.如权利要求1所述的调整范围为3微米的微观实验用微米位移垂向调整装置，其特征在于，所述底玻璃板和顶玻璃板均为长方形。