[实用新型]一种半导体静电测试装置

权利要求书

1.一种半导体静电测试装置，其特征在于：包括工作台(10)，所述工作台(10)的一侧设置有测试组件，所述测试组件包括安装机构和设置在所述安装机构顶部的静电测试枪(33)，所述工作台(10)的另一侧还设有送料机构，所述工作台(10)上还设有控制器(11)，所述测试组件、安装机构、静电测试枪(33)、送料机构均与所述控制器(11)电连接。

2.如权利要求1所述的一种半导体静电测试装置，其特征在于：所述安装机构与工作台(10)之间设有用于驱动所述测试组件运动的第一驱动组件。

3.如权利要求2所述的一种半导体静电测试装置，其特征在于：所述第一驱动组件包括设置在所述工作台(10)上的安装底座(20)，所述安装底座(20)的顶部开设有第一安装槽(21)，所述第一安装槽(21)的内部设有第一锥齿轮(22)，所述第一锥齿轮(22)啮合有水平安装的第二锥齿轮(24)，且所述第一锥齿轮(22)的齿数小于第二锥齿轮(24)，所述第二锥齿轮(24)的内侧设有安装孔，所述安装孔的内壁上设有内螺纹，所述安装孔内套设有升降杆(25)，所述升降杆(25)的外侧面设有与所述内螺纹匹配的外螺纹，所述升降杆(25)的顶部与所述安装机构固定连接，所述工作台(10)上还设有用于驱动所述第一锥齿轮(22)运动的第一驱动电机(23)。

4.如权利要求3所述的一种半导体静电测试装置，其特征在于：所述安装底座(20)在第一安装槽(21)的四周还设有若干第二安装槽(26)，所述第二安装槽(26)的内部设有伸缩导向杆(261)，所述伸缩导向杆(261)的两端分别与所述安装底座(20)和安装机构固定连接。

5.如权利要求1所述的一种半导体静电测试装置，其特征在于：所述安装机构包括支撑杆(30)，所述支撑杆(30)的顶部设有用于对所述静电测试枪(33)进行夹持的固定夹具(32)，所述固定夹具(32)与支撑杆(30)之间还设有用于驱动所述固定夹具(32)上下移动的第二驱动组件。

6.如权利要求5所述的一种半导体静电测试装置，其特征在于：所述第二驱动组件为伺服电缸(31)。

7.如权利要求1所述的一种半导体静电测试装置，其特征在于：所述送料机构包括主动轮(41)和从动轮(42)，所述主动轮(41)和从动轮(42)之间水平地设置有输送皮带(43)，所述输送皮带(43)的外侧面间隔均匀地设有若干用于放置待测半导体的容置槽(44)，容置槽(44)的底部设有通孔(45)供所述待测半导体的引脚穿过，所述送料机构还包括设置在所述输送皮带(43)内侧的用于与所述引脚接触的接地金属片(46)。