[实用新型]一种半导体静电测试装置

说明书

本实用新型涉及静电测试技术领域，具体涉及一种半导体静电测试装置，包括工作台，所述工作台的一侧设置有测试组件，所述测试组件包括安装机构和设置在所述安装机构顶部的静电测试枪，所述工作台的另一侧还设有送料机构，所述工作台上还设有控制器，所述测试组件、安装机构、静电测试枪、送料机构均与所述控制器电连接。所述半导体静电测试装置便于对实现对半导体实现半自动化检测，以提高检测效率。

技术领域

本实用新型涉及静电测试技术领域，尤其涉及一种半导体静电测试装置。

背景技术

静电作为自然界的普遍现象，它主要是指电荷在物体上不断的积累，当电荷积累到一定数量的时候，同时和另外一个不带电或者所带电荷不一样的物体靠近或者接触的时候，大量的电荷就会发生迁移，从而就产什么我们所说的静电放电现象。

随着半导体技术的不断发展，我们对于静电放电对器件的危害也投入了更多的关注，同时器件抗静电能力的要求也在不断提高。因此，半导体在生产完成后还需要进行静电测试。目前，对于半导体的静电测试，因待检测的半导体器件的种类不同，导致其大小存在一定差异，因此，一般是人工手持静电测试仪对半导体进行检测，使得误差大，检测效率低下。

实用新型内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的在于提供一种半导体静电测试装置，所述半导体静电测试装置便于对实现对半导体实现半自动化检测，以提高检测效率。

为达到上述技术效果，本实用新型采用了以下技术方案：

一种半导体静电测试装置，包括工作台，所述工作台的一侧设置有测试组件，所述测试组件包括安装机构和设置在所述安装机构顶部的静电测试枪，所述工作台的另一侧还设有送料机构，所述工作台上还设有控制器，所述测试组件、安装机构、静电测试枪、送料机构均与所述控制器电连接。

进一步地，所述安装机构与工作台之间设有用于驱动所述测试组件运动的第一驱动组件。

进一步地，所述第一驱动组件包括设置在所述工作台上的安装底座，所述安装底座的顶部开设有第一安装槽，所述第一安装槽的内部设有第一锥齿轮，所述第一锥齿轮啮合有水平安装的第二锥齿轮，且所述第一锥齿轮的齿数小于第二锥齿轮，所述第二锥齿轮的内侧设有安装孔，所述安装孔的内壁上设有内螺纹，所述安装孔内套设有升降杆，所述升降杆的外侧面设有与所述内螺纹匹配的外螺纹，所述升降杆的顶部与所述安装机构固定连接，所述工作台上还设有用于驱动所述第一锥齿轮运动的第一驱动电机。

进一步地，所述安装底座在第一安装槽的四周还设有若干第二安装槽，所述第二安装槽的内部设有伸缩导向杆，所述伸缩导向杆的两端分别与所述安装底座和安装机构固定连接。

进一步地，所述安装机构包括支撑杆，所述支撑杆的顶部设有用于对所述静电测试枪进行夹持的固定夹具，所述固定夹具与支撑杆之间还设有用于驱动所述固定夹具上下移动的第二驱动组件。

进一步地，所述第二驱动组件为伺服电缸。

进一步地，所述送料机构包括主动轮和从动轮，所述主动轮和从动轮之间水平地设置有输送皮带，所述输送皮带的外侧面间隔均匀地设有若干用于放置待测半导体的容置槽，容置槽的底部设有通孔供所述待测半导体的引脚穿过，所述送料机构还包括设置在所述输送皮带内侧的用于与所述引脚接触的接地金属片。

与现有技术相比，本实用新型提供的一种半导体静电测试装置的有益效果为：通过在工作台上设置可升降的安装机构用于安装静电测试枪，并通过在工作台上设置安装底座，并在所述安装底座的内部设安装第一锥齿轮和第二锥齿轮，利用第一锥齿轮和第二锥齿轮配合以实现升降杆的提升，起到对静电测试枪高度进行微小的调节的技术效果，以便于适应不同型号和种类的待测半导体的测试。同时，在所述静电测试枪的正下方设置送料机构用于输送物料，可进一步提高半导体静电测试的自动化程度，便于提高检测效率。

附图说明