[实用新型]双面电镀装置有效
申请号: | 202022902770.9 | 申请日: | 2020-12-05 |
公开(公告)号: | CN214300423U | 公开(公告)日: | 2021-09-28 |
发明(设计)人: | 严立巍;施放;符德荣 | 申请(专利权)人: | 绍兴同芯成集成电路有限公司 |
主分类号: | C25D17/00 | 分类号: | C25D17/00;C25D7/12;C25D17/12 |
代理公司: | 北京同辉知识产权代理事务所(普通合伙) 11357 | 代理人: | 饶富春 |
地址: | 312000 浙江省绍兴市越城区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 双面 电镀 装置 | ||
1.一种双面电镀装置,其特征在于,所述电镀装置具有电镀腔,待电镀对象适于平行于水平方向放置于所述电镀腔内,所述电镀装置具有连接所述待电镀对象的两个待电镀面的电极组,两个所述待电镀面的两侧均分布有电解液和阳极板;
所述阳极板和所述电极组分别连接至电源的正极和负极,当所述电源通电时,对两个所述待电镀面中的至少一个进行电镀;
所述双面电镀装置包括:
第一壳体,所述第一壳体限定出第一腔室;
第二壳体,所述第二壳体限定出第二腔室;
当所述第一壳体和所述第二壳体沿竖直方向连接时,所述第一腔室和所述第二腔室构成所述电镀腔。
2.根据权利要求1所述的双面电镀装置,其特征在于,所述第一壳体和所述第二壳体相对的连接端面处具有凹槽,所述待电镀对象通过固定于所述凹槽内的夹具固定于所述电镀腔内。
3.根据权利要求1所述的双面电镀装置,其特征在于,所述阳极板包括位于所述第一腔室内的第一阳极板和位于所述第二腔室内的第二阳极板,所述电极组包括位于所述第一壳体的第一电极组和位于所述第二壳体的第二电极组,所述电源包括第一电源和第二电源,所述第一阳极板和所述第一电极组分别连接于所述第一电源的正极和负极,所述第二阳极板和所述第二电极组分别连接于所述第二电源的正极和负极;
所述待电镀对象的朝向所述第一腔室的所述待电镀面与所述第一电极组连接,所述待电镀对象的朝向所述第二腔室的所述待电镀面与所述第二电极组连接。
4.根据权利要求3所述的双面电镀装置,其特征在于,所述第一腔室的顶壁设有用于固定所述第一阳极板的第一固定部,所述第二腔室的底壁设有用于固定所述第二阳极板的第二固定部。
5.根据权利要求1所述的双面电镀装置,其特征在于,所述双面电镀装置还包括:电场调节板,所述第一壳体和所述第二壳体中的至少一个的内壁上设有固定所述电场调节板的台阶部。
6.根据权利要求1所述的双面电镀装置,其特征在于,所述第一壳体和所述第二壳体均设有连通所述电镀腔的电解液注入口。
7.根据权利要求1所述的双面电镀装置,其特征在于,所述第一壳体和所述第二壳体均设有用于注入清洗液体的注水口。
8.根据权利要求1所述的双面电镀装置,其特征在于,所述第一壳体和所述第二壳体的连接端面处设有连通所述电镀腔和外界的回流槽。
9.根据权利要求1-8中任一项所述的双面电镀装置,其特征在于,所述电镀腔的底壁设有用于排放所述电镀腔内的液体的排放口。
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