[实用新型]一种液体回收装置有效
| 申请号： | 202022915042.1 | 申请日： | 2020-12-08 |
| 公开（公告）号： | CN214022247U | 公开（公告）日： | 2021-08-24 |
| 发明（设计）人： | 郭炳熙;周铁军;米艳娇 | 申请（专利权）人： | 广东先导先进材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02;B08B3/08;B08B13/00 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人： | 颜希文;宋亚楠 |
| 地址： | 511517 广东省清*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 液体 回收 装置 | ||
1.一种液体回收装置，其特征在于，包括：
清洗盘，所述清洗盘用于夹紧晶圆，所述清洗盘的侧壁设有通孔；
转动机构，所述转动机构用于驱动所述清洗盘转动；
供液组件，所述供液组件用于向所述清洗盘喷入液体；
第一收液盘，所述第一收液盘具有第一收液腔，所述第一收液盘设有与所述第一收液腔连通的排液管；
第一升降机构，所述第一升降机构用于驱动所述第一收液盘相对所述清洗盘升降，以使所述第一收液腔包围或脱离所述清洗盘；及
第二收液盘，所述第二收液盘具有第二收液腔，所述第一收液盘设置在所述第二收液腔内。
2.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，所述第一收液腔的内侧壁呈圆弧状。
3.如权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于，所述排液管与所述第一收液腔的圆弧段连通。
4.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，所述排液管上设有用于控制液体流量的阀体。
5.如权利要求1－4任一项所述的液体回收装置，其特征在于，所述排液管的数量为两个，两个所述排液管分别设置在所述第一收液盘的底部两侧。
6.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，所述第一收液盘和所述第二收液盘均为圆盘结构。
7.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，所述第一升降机构为气缸，所述第一升降机构的伸缩端与所述第一收液盘的底部固定连接。
8.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，还包括用于驱动所述清洗盘升降的第二升降机构。
9.如权利要求8所述的液体回收装置，其特征在于，所述第二升降机构为气缸，所述第二升降机构的伸缩端与所述清洗盘的底部固定连接。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于广东先导先进材料股份有限公司，未经广东先导先进材料股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022915042.1/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种便于组装的不锈钢门
- 下一篇：一种冲压包边机构
