[实用新型]一种液体回收装置

说明书

本实用新型涉及液体回收技术领域，公开了一种液体回收装置，包括：清洗盘，所述清洗盘用于夹紧晶圆，所述清洗盘的侧壁设有通孔；转动机构，所述转动机构用于驱动所述清洗盘转动；供液组件，所述供液组件用于向所述清洗盘喷入液体；第一收液盘，所述第一收液盘具有第一收液腔，所述第一收液盘设有与所述第一收液腔连通的排液管；第一升降机构，所述第一升降机构用于驱动所述第一收液盘相对所述清洗盘升降，以使所述第一收液腔包围或脱离所述清洗盘；及第二收液盘，所述第二收液盘具有第二收液腔，所述第一收液盘设置在所述第二收液腔内。本实用新型可有效避免在回收的液体中混入其它液体，实现对不同液体的精准回收。

技术领域

本实用新型涉及液体回收技术领域，特别是涉及一种液体回收装置。

背景技术

目前在自动化清洗领域中会使用到各种不同的化学药品，在清洗过程中为了达到最佳效果及提高清洗效率，两种药品液体之间的切换时间都控制在几秒或1秒内完成。若两种液体得不到及时分离会对回收的药品质量造成影响，或失去回收价值。

现有用于回收液体的方法是通过控制阀门开合来实现分流，但无法通过控制阀门前端管道的流速来加快分流速度。因此，液体回收的流动速度是无法得到精确控制，只能通过延迟阀门开关来控制两种液体的切换时间。当两种液体切换的间隔时间越短，则越难做到精确分离，导致回收的液体中会混入其它液体，从而导致后续处理成本较高，甚者失去回收价值。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种液体回收装置，有效避免在回收的液体中混入其它液体，实现对不同液体的精准回收。

为了实现上述目的，本实用新型提供了一种液体回收装置，包括：

清洗盘，所述清洗盘用于夹紧晶圆，所述清洗盘的侧壁和/或底部设有通孔；

转动机构，所述转动机构用于驱动所述清洗盘转动；

供液组件，所述供液组件用于向所述清洗盘喷入液体；

第一收液盘，所述第一收液盘具有第一收液腔，所述第一收液盘设有与所述第一收液腔连通的排液管；

第一升降机构，所述第一升降机构用于驱动所述第一收液盘相对所述清洗盘升降，以使所述第一收液腔包围或脱离所述清洗盘；及

第二收液盘，所述第二收液盘具有第二收液腔，所述第一收液盘设置在所述第二收液腔内。

进一步地，所述第一收液腔的内侧壁呈圆弧状。

进一步地，所述排液管与所述第一收液腔的圆弧段连通。

进一步地，所述排液管上设有用于控制液体流量的阀体。

进一步地，所述排液管的数量为两个，两个所述排液管分别设置在所述第一收液盘的底部两侧。

进一步地，所述第一收液盘和所述第二收液盘均为圆盘结构。

进一步地，所述第一升降机构为气缸，所述第一升降机构的伸缩端与所述第一收液盘的底部固定连接。

进一步地，还包括用于驱动所述清洗盘升降的第二升降机构。

进一步地，所述第二升降机构为气缸，所述第二升降机构的伸缩端与所述清洗盘的底部固定连接。

本实用新型实施例一种液体回收装置与现有技术相比，其有益效果在于：

本实用新型将需要清洗的晶圆固定在清洗盘上，供液组件在向清洗盘喷入液体的同时，转动的清洗盘带动晶圆转动，使转动的晶圆接触液体后进行清洗，清洗后的液体沿通孔流出，在离心力的作用下向外溅出，第一升降机构驱动第一收液盘包围清洗盘，使得溅出的液体落在第一收液腔的侧壁后沿着排液管排出，以完成对清洗后的液体回收。