[实用新型]一种半导体检测探针平台

权利要求书

1.一种半导体检测探针平台，包括顶台(1)和底座(2)，所述底座(2)固定连接在顶台(1)的底端，其特征在于：所述顶台(1)的顶端固定连接有检测镜电控装置(3)，所述底座(2)的顶端固定连接有平台(6)，所述平台(6)的顶端固定连接有控制装置(4)，所述控制装置(4)的底端固定连接有检测镜(5)，所述控制装置(4)和检测镜电控装置(3)之间通过导线连接，所述平台(6)的顶端固定连接有探针控制装置(7)，所述探针控制装置(7)的前端固定连接有探针(9)，所述底座(2)的顶端固定连接有检测盘(12)，所述检测盘(12)的内部固定开设有封闭腔(15)，所述封闭腔(15)的内部嵌入设置有灯柱(16)，所述底座(2)的一端设置有输送带(11)，所述平台(6)的底端固定连接有第一轨道(8)，所述第一轨道(8)的底部设置有第二轨道(10)，所述第二轨道(10)的顶端固定连接有滑动头(17)，所述第二轨道(10)的顶端位置固定连接有支撑板(18)，所述第一轨道(8)和第二轨道(10)之间固定连接有弹簧(13)和液压杆(14)。

2.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述平台(6)位于顶台(1)的前方，平台(6)的顶部表面设置半圆形开口，半圆形开口位于平台(6)的前端位置，同时控制装置(4)位于半圆形开口位置的前端位置。

3.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述探针(9)向下倾斜设置，前端同时伸入平台(6)顶部的半圆开口中，且探针(9)的底端位于检测镜(5)的下方两侧位置。

4.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述检测盘(12)在底座(2)顶部突出设置，且检测盘(12)的顶部表面呈阶梯状梯形内凹设置，同时进行喷塑处理。

5.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述灯柱(16)设置多组，底端通过导线连接外部电控设备，同时灯柱(16)突出设置在检测盘(12)表面内凹位置两侧。

6.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述输送带(11)呈向外倾斜设置，且内端和检测盘(12)的顶部持平设置。

7.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述第一轨道(8)和第二轨道(10)配套设置，同时第二轨道(10)的底端固定连接底座(2)，第一轨道(8)整体的两侧位置呈“L”状设置，且第一轨道(8)的两侧表面开设有供滑动头(17)滑动的竖向滑动槽，第二轨道(10)整体呈竖向的“[”设置，开口位置朝外设置。

8.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述滑动头(17)呈竖向设置，相对比第二轨道(10)整体结构呈向上折角设置，嵌入在第一轨道(8)表面开设的竖向滑动槽中。

9.根据权利要求1所述的一种半导体检测探针平台，其特征在于：所述支撑板(18)在第二轨道(10)顶部的水平位置横向设置有两组，均呈向内水平延伸设置，弹簧(13)设置两组，底端位置同时支撑在支撑板(18)上，液压杆(14)位于两组弹簧(13)之间，两端同时抵在第一轨道(8)和第二轨道(10)的内侧。