[实用新型]一种半导体检测探针平台

说明书

本实用新型提供一种半导体检测探针平台，包括顶台和底座，底座固定连接在顶台的底端，顶台的顶端固定连接有检测镜电控装置，底座的顶端固定连接有平台，平台的顶端固定连接有控制装置，控制装置的底端固定连接有检测镜，控制装置和检测镜电控装置之间通过导线连接；在检测镜对半导体外表面进行检测的时候，下方两侧的探针便于对半导体进行电极检测，同时探针的底端位置设置在检测镜的下方位置，也便于检测镜对探针和半导体之间的接触进行检测，通过检测盘，顶部呈顶部表面呈阶梯状梯形内凹设置，便于对半导体进行放置，同时配合灯柱，对半导体外表进行照射，便于使得检测镜对其外表面进行观察检测。

技术领域

本实用新型涉及半导体技术领域，更具体的，涉及一种半导体检测探针平台。

背景技术

在电子装置(诸如半导体衬底)的制造过程中以及制造过程完成以后，需要对其进行相关检测以确定其性能。目前市场上的探针平台不能升降或者升降精度大，多为手轮摇360度，升降0.5-1毫米不等，不能满足越来越精密的测试需要，且显微镜不能升降，由于显微镜镜头长短不一，更换不同倍率镜头测试时，显微镜镜头和被测样品会出先现有碰撞的现象，现有产品是利用直线轴承做为垂直导向升降，导致垂直升降不稳定、间隙大，升降的时候不能真正的达到同步升降。

实用新型内容

本实用新型旨在解决，现有的利用直线轴承做为垂直导向升降，导致垂直升降不稳定、间隙大，升降的时候不会是真正的达到同步升降的问题，提供一种半导体检测探针平台。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体检测探针平台，包括顶台和底座，所述底座固定连接在顶台的底端，所述顶台的顶端固定连接有检测镜电控装置，所述底座的顶端固定连接有平台，所述平台的顶端固定连接有控制装置，所述控制装置的底端固定连接有检测镜，所述控制装置和检测镜电控装置之间通过导线连接，所述平台的顶端固定连接有探针控制装置，所述探针控制装置的前端固定连接有探针，所述底座的顶端固定连接有检测盘，所述检测盘的内部固定开设有封闭腔，所述封闭腔的内部嵌入设置有灯柱，所述底座的一端设置有输送带，所述平台的底端固定连接有第一轨道，所述第一轨道的底部设置有第二轨道，所述第二轨道的顶端固定连接有滑动头，所述第二轨道的顶端位置固定连接有支撑板，所述第一轨道和第二轨道之间固定连接有弹簧和液压杆。

进一步优选方案：平台位于顶台的前方，平台的顶部表面设置半圆形开口，半圆形开口位于平台的前端位置，同时控制装置位于半圆形开口位置的前端位置。

进一步优选方案：探针向下倾斜设置，前端同时伸入平台顶部的半圆开口中，且探针的底端位于检测镜的下方两侧位置。

进一步优选方案：检测盘在底座顶部突出设置，且检测盘的顶部表面呈阶梯状梯形内凹设置，同时进行喷塑处理。

进一步优选方案：灯柱设置多组，底端通过导线连接外部电控设备，同时灯柱突出设置在检测盘表面内凹位置两侧。

进一步优选方案：输送带呈向外倾斜设置，且内端和检测盘的顶部持平设置。

进一步优选方案：第一轨道和第二轨道配套设置，同时第二轨道的底端固定连接底座，第一轨道整体的两侧位置呈“L”状设置，且第一轨道的两侧表面开设有供滑动头滑动的竖向滑动槽，第二轨道整体呈竖向的“[”设置，开口位置朝外设置。

进一步优选方案：滑动头呈竖向设置，相对比第二轨道整体结构呈向上折角设置，嵌入在第一轨道表面开设的竖向滑动槽中。

进一步优选方案：支撑板在第二轨道顶部的水平位置横向设置有两组，均呈向内水平延伸设置，弹簧设置两组，底端位置同时支撑在支撑板上，液压杆位于两组弹簧之间，两端同时抵在第一轨道和第二轨道的内侧。

本实用新型提供了一种半导体检测探针平台，具有以下有益效果：

本实用新型,通过在平台的表面开设半圆形开口便于对检测盘上的半导体进行检测。