[实用新型]反应室以及炉管设备

权利要求书

1.反应室，其特征在于，包括：

炉体，设置有沿轴向贯通的第一腔体；

第一炉管，容置在所述第一腔体内，所述第一炉管的材质为不锈钢材质，所述第一炉管设置有沿轴向贯通的第二腔体；

支撑部，至少包括两个，分别设置在所述第一炉管的轴向的两端，并支撑所述第一炉管；

盖部，设置在所述第一炉管的轴向的一端，封堵所述第二腔体；

门部，设置在所述第一炉管的轴向的另一端，封堵所述第二腔体或者使所述第二腔体被打开。

2.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的材质为304号不锈钢、309号不锈钢、309S号不锈钢、309L号不锈钢、310号不锈钢、310S号不锈钢、310L号不锈钢或者316L号不锈钢。

3.根据权利要求1或2所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的壁厚为0.8mm至6mm。

4.根据权利要求1或2所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的横截面呈圆形状或者矩形状。

5.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，还包括管路部，所述管路部经由所述盖部，伸进所述第二腔体内。

6.根据权利要求5所述的反应室，其特征在于，所述管路部包括多根管件，所述管件的材料为石英材料或者不锈钢材料。

7.根据权利要求5所述的反应室，其特征在于，所述管路部包括冷却管件。

8.根据权利要求5所述的反应室，其特征在于，所述管路部包括进气管件，所述进气管件沿轴向开设有多个进气孔。

9.根据权利要求5所述的反应室，其特征在于，所述管路部包括抽气管件，所述抽气管件沿轴向开设有多个抽气孔。

10.根据权利要求6所述的反应室，其特征在于，所述第一炉管的内壁上，设置有卡套，所述管件在所述第二腔体内被所述卡套支撑。

11.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，所述反应室为PECVD设备的反应室，所述第一炉管通过串联电阻接地。

12.根据权利要求1所述的反应室，其特征在于，所述反应室为双炉管结构，所述反应室还包括第二炉管，所述第二炉管设置有沿轴向贯通的第三腔体，所述第二炉管容置在所述第一腔体内，所述第一炉管容置在所述第三腔体内。

13.炉管设备，其特征在于，包括权利要求1至12中任一项所述的反应室。

14.根据权利要求13所述的炉管设备，其特征在于，还包括石墨舟，所述石墨舟可被推入所述第一炉管内或者从所述第一炉管内被推出，所述石墨舟的舟脚处，设置有绝缘件。