[实用新型]反应室以及炉管设备

说明书

本实用新型公开了反应室以及炉管设备，其中，反应室，包括：炉体，设置有沿轴向贯通的第一腔体；第一炉管，容置在所述第一腔体内，所述第一炉管的材质为不锈钢材质，所述第一炉管设置有沿轴向贯通的第二腔体；支撑部，至少包括两个，分别设置在所述第一炉管的轴向的两端，并支撑所述第一炉管；盖部，设置在所述第一炉管的轴向的一端，封堵所述第二腔体；门部，设置在所述第一炉管的轴向的另一端，封堵所述第二腔体或者使所述第二腔体被打开。根据本实用新型的反应室，能够大大降低炉管加工和维护的成本，进而降低反应室的成本。

技术领域

本实用新型涉及但不限于光伏电池制造技术领域，尤其涉及反应室以及炉管设备。

背景技术

光伏发电普遍被认为是一种极具发展前景的产业。太阳能光伏电池(以下简称光伏电池)是一种将太阳能转化为电能的电池，是光伏发电的核心部件之一。在光伏电池的制造过程中，炉管设备是核心设备之一。炉管设备包括扩散炉、氧化炉、退火炉、 PECVD以及LPCVD等，广泛作为光伏电池的扩散、氧化、退火以及沉积等制程的反应室而使用。

已知的炉管设备的反应室普遍采用石英管，原因在于石英具有极佳的耐高温强度、热膨胀系数小以及耐腐蚀性等优点。但是石英管同样存在一些问题，例如，石英管价格高但是寿命短，且由于石英管具有脆性特征，破损后难以修复，即使可修复，成本也非常高昂。

实用新型内容

本实用新型旨在至少解决已知技术中存在的技术问题之一。为此，本实用新型提出了一种反应室，能够大大降低成本。此外，本实用新型还提出了具有该反应室的炉管设备。

根据本实用新型第一方面实施例的反应室，包括：炉体，设置有沿轴向贯通的第一腔体；第一炉管，容置在所述第一腔体内，所述第一炉管的材质为不锈钢材质，所述第一炉管设置有沿轴向贯通的第二腔体；支撑部，至少包括两个，分别设置在所述第一炉管的轴向的两端，并支撑所述第一炉管；盖部，设置在所述第一炉管的轴向的一端，封堵所述第二腔体；门部，设置在所述第一炉管的轴向的另一端，封堵所述第二腔体或者使所述第二腔体被打开。

根据本实用新型第一方面的反应室，至少具有如下有益效果：由于第一炉管的材质选择了不锈钢材质，因此，能够容易地加工和维护炉管，由此能够大大降低炉管加工和维护的成本，进而降低反应室的成本。

在一些实施例中，所述第一炉管的材质为304号不锈钢、309号不锈钢、309S号不锈钢、309L号不锈钢、310号不锈钢、310S号不锈钢、310L号不锈钢或者316L号不锈钢。

在一些实施例中，所述第一炉管的壁厚为0.8mm至6mm。

在一些实施例中，所述第一炉管的横截面呈圆形状或者矩形状。

在一些实施例中，还包括管路部，所述管路部经由所述盖部，伸进所述第二腔体内。

在一些实施例中，所述管路部包括多根管件，所述管件的材料为石英材料或者不锈钢材料。

在一些实施例中，所述管路部包括冷却管件。

在一些实施例中，所述管路部包括进气管件，所述进气管件沿轴向开设有多个进气孔。

在一些实施例中，所述管路部包括抽气管件，所述抽气管件沿轴向开设有多个抽气孔。

在一些实施例中，所述第一炉管的内壁上，设置有卡套，所述管件在所述第二腔体内被所述卡套支撑。

在一些实施例中，所述反应室为PECVD设备的反应室，所述第一炉管通过串联电阻接地。

在一些实施例中，所述反应室为双炉管结构，所述反应室还包括第二炉管，所述第二炉管设置有沿轴向贯通的第三腔体，所述第二炉管容置在所述第一腔体内，所述第一炉管容置在所述第三腔体内。

根据本实用新型第二方面实施例的炉管设备，包括上述任一项的反应室。