[实用新型]一种用于多块粘接碳化硅晶锭的装置有效
申请号: | 202022927309.9 | 申请日: | 2020-12-09 |
公开(公告)号: | CN214327974U | 公开(公告)日: | 2021-10-01 |
发明(设计)人: | 张弛;高飞;李晖;王磊;张海磊;郝俊宝 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第四十六研究所 |
主分类号: | C30B33/06 | 分类号: | C30B33/06;C30B29/36 |
代理公司: | 天津中环专利商标代理有限公司 12105 | 代理人: | 李美英 |
地址: | 300220*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 多块粘接 碳化硅 装置 | ||
1.一种用于多块粘接碳化硅晶锭的装置,其特征在于:包括底座(1)、定位孔(2)、固定杆(3)、带内螺纹盲孔(4-1)的定位块(4)、基准杆(5)、带内螺纹通孔(6-1)的滑块(6)、晶锭垫块(7)、晶锭压块(8)、气缸杆连接件(9-1),气缸(9)、气缸支撑架(10);在所述固定杆(3)上设置卡槽Ⅰ(3-1),在所述基准杆(5)上设置卡槽Ⅱ(5-1),在所述晶锭垫块(7)的中心设置定位凸台(7-1);所述定位孔(2)设置在底座(1)的中心,底座(1)设置在所述气缸支撑架(10)底板的中心,所述气缸(9)设置在气缸支撑架(10)横板的中心;晶锭垫块(7)通过定位凸台(7-1)和定位孔(2)设置在底座(1)上;两根固定杆(3)和一根基准杆(5)设置在底座(1)上以底座中心为圆心的同一圆周上,相互间夹角120º,圆周半径与所需粘接的晶锭相匹配;所述定位块(4)通过固定杆(3)上的卡槽Ⅰ(3-1)、内螺纹盲孔(4-1)和螺栓设置在固定杆(3)上,所述滑块(6)通过基准杆(5)上的卡槽Ⅱ(5-1)、内螺纹通孔(6-1)和顶紧螺钉(14)设置在基准杆(5)上,在滑块(6)的内螺纹通孔(6-1)内设置顶紧螺钉(14);所述晶锭压块(8)设置在气缸(9)的气缸杆连接件(9-1)的端头;
定位块(4)的高度和滑块(6)的高度均不大于晶锭Ⅰ(11)和晶锭Ⅱ(13)的厚度;
每根固定杆(3)上的定位块(4)至少两个,基准杆(5)上的滑块(6)至少两个。
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