[实用新型]一种用于多块粘接碳化硅晶锭的装置有效

专利信息
申请号: 202022927309.9 申请日: 2020-12-09
公开(公告)号: CN214327974U 公开(公告)日: 2021-10-01
发明(设计)人: 张弛;高飞;李晖;王磊;张海磊;郝俊宝 申请(专利权)人: 中国电子科技集团公司第四十六研究所
主分类号: C30B33/06 分类号: C30B33/06;C30B29/36
代理公司: 天津中环专利商标代理有限公司 12105 代理人: 李美英
地址: 300220*** 国省代码: 天津;12
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 用于 多块粘接 碳化硅 装置
【权利要求书】:

1.一种用于多块粘接碳化硅晶锭的装置,其特征在于:包括底座(1)、定位孔(2)、固定杆(3)、带内螺纹盲孔(4-1)的定位块(4)、基准杆(5)、带内螺纹通孔(6-1)的滑块(6)、晶锭垫块(7)、晶锭压块(8)、气缸杆连接件(9-1),气缸(9)、气缸支撑架(10);在所述固定杆(3)上设置卡槽Ⅰ(3-1),在所述基准杆(5)上设置卡槽Ⅱ(5-1),在所述晶锭垫块(7)的中心设置定位凸台(7-1);所述定位孔(2)设置在底座(1)的中心,底座(1)设置在所述气缸支撑架(10)底板的中心,所述气缸(9)设置在气缸支撑架(10)横板的中心;晶锭垫块(7)通过定位凸台(7-1)和定位孔(2)设置在底座(1)上;两根固定杆(3)和一根基准杆(5)设置在底座(1)上以底座中心为圆心的同一圆周上,相互间夹角120º,圆周半径与所需粘接的晶锭相匹配;所述定位块(4)通过固定杆(3)上的卡槽Ⅰ(3-1)、内螺纹盲孔(4-1)和螺栓设置在固定杆(3)上,所述滑块(6)通过基准杆(5)上的卡槽Ⅱ(5-1)、内螺纹通孔(6-1)和顶紧螺钉(14)设置在基准杆(5)上,在滑块(6)的内螺纹通孔(6-1)内设置顶紧螺钉(14);所述晶锭压块(8)设置在气缸(9)的气缸杆连接件(9-1)的端头;

定位块(4)的高度和滑块(6)的高度均不大于晶锭Ⅰ(11)和晶锭Ⅱ(13)的厚度;

每根固定杆(3)上的定位块(4)至少两个,基准杆(5)上的滑块(6)至少两个。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子科技集团公司第四十六研究所,未经中国电子科技集团公司第四十六研究所许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202022927309.9/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top