[实用新型]MEMS气体变送装置有效
| 申请号： | 202022932017.4 | 申请日： | 2020-12-09 |
| 公开（公告）号： | CN214174294U | 公开（公告）日： | 2021-09-10 |
| 发明（设计）人： | 汪献忠;李建国;曹威;侯新梅 | 申请（专利权）人： | 河南省日立信股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N33/00 | 分类号： | G01N33/00 |
| 代理公司： | 郑州豫开专利代理事务所(普通合伙) 41131 | 代理人： | 朱俊峰 |
| 地址： | 450001 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | mems 气体 装置 | ||
1.MEMS气体变送装置，其特征在于：包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。
2.根据权利要求1所述的MEMS气体变送装置，其特征在于：进气孔和出气孔具有同一条中心线，两个传感器安装孔具有同一条中心线，传感器安装孔的中心线与进气孔的中心线垂直。
3.根据权利要求1或2所述的MEMS气体变送装置，其特征在于：第二传感器安装孔为外粗内细的台阶孔结构，MEMS氢气浓度传感器的外侧同轴线设有位于台阶孔较粗段内部的环形压板，环形压板内侧面与台阶孔的环形台阶面之间设有第一O型密封圈，台阶孔较粗段内部螺纹连接有压接套筒，压接套筒内端通过环形压板将第一O型密封圈与环形台阶面压接密封配合。
4.根据权利要求1或2所述的MEMS气体变送装置，其特征在于：MEMS氢气浓度传感器的外端设有防水接头。
5.根据权利要求1或2所述的MEMS气体变送装置，其特征在于：测量气室的四角处分别设有一个安装孔。
6.根据权利要求1或2所述的MEMS气体变送装置，其特征在于：压力传感器与第一传感器安装孔的外端口之间设有第二O型密封圈。
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