[实用新型]MEMS气体变送装置

说明书

MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。本实用新型结构简单、体积小巧，便于安装及拆卸，测量气室内部空间小，测量过程中气体残留少，且通过引入压力传感器，使得本实用新型测量速度迅速，测量数值准确。

技术领域

本实用新型属于氢气浓度监测技术领域，具体涉及一种MEMS气体变送装置。

背景技术

当核电站轻水堆发生严重事故时，在较高的燃料覆层温度下，水蒸气会与金属锆发生反应，同时高温下熔化的堆芯残骸会与混凝土发生反应，这两个反应都可以生成大量氢气，反应产生的氢气泄漏进入安全壳大气中，并与空气和水蒸气混合，在局部就可能形成易燃条件。因此，监测安全壳内的氢气浓度对整个系统的安全性至关重要。

实用新型内容

本实用新型为了解决现有技术中的不足之处，提供一种对从安全壳引出的气体的氢气浓度进行检测的MEMS气体变送装置。

为解决上述技术问题，本实用新型采用如下技术方案：MEMS气体变送装置，包括测量气室、进气双卡套接头、出气双卡套接头、压力传感器和MEMS氢气浓度传感器，测量气室内设有内端口相互连通的进气孔、出气孔、第一传感器安装孔和第二传感器安装孔，进气双卡套接头的一端安装在进气孔的外端口内，出气双卡套接头的一端安装在出气孔的外端口内，压力传感器的连接端安装在第一传感器安装孔内，MEMS氢气浓度传感器安装在第二传感器安装孔内。

进气孔和出气孔具有同一条中心线，两个传感器安装孔具有同一条中心线，传感器安装孔的中心线与进气孔的中心线垂直。

第二传感器安装孔为外粗内细的台阶孔结构，MEMS氢气浓度传感器的外侧同轴线设有位于台阶孔较粗段内部的环形压板，环形压板内侧面与台阶孔的环形台阶面之间设有第一O型密封圈，台阶孔较粗段内部螺纹连接有压接套筒，压接套筒内端通过环形压板将第一O型密封圈与环形台阶面压接密封配合。

MEMS氢气浓度传感器的外端设有防水接头。

测量气室的四角处分别设有一个安装孔。

压力传感器与第一传感器安装孔的外端口之间设有第二O型密封圈。

采用上述技术方案，本实用新型压力传感器与测量气室内的第一传感器安装孔螺纹连接；MEMS氢气传感器安装在第二传感器安装孔内，与测量气室靠压接套筒固定压紧；为保证测量模块气密性， MEMS氢气传感器与测量气室之间的台阶孔的台阶面处放置第一O型密封圈，通过压接套筒顶压第一O型密封圈实现密封，压力传感器与测量气室之间用第二O型密封圈进行密封。MEMS氢气传感器的电路板位于台阶孔的较细段内部，电路板引出的线缆通过防水接头引出到外部。进气双卡套接头与出气双卡套接头共同组成了测量气室的进出气路。

本实用新型通过进气双卡套接头进入气体，在测量气室内被MEMS氢气传感器监测并读取相关参数，该参数通过压力传感器读取的压力值可修正为氢气浓度数据。

四个安装孔用于穿过螺钉或螺栓，用于固定测量气室。

本实用新型结构简单、体积小巧，便于安装及拆卸，测量气室内部空间小，测量过程中气体残留少，且通过引入压力传感器，使得本实用新型测量速度迅速，测量数值准确。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图。

具体实施方式