[实用新型]一种夹具、托盘以及溅射系统

权利要求书

1.一种夹具，其特征在于，包括：相互连接的支撑结构和夹持结构，所述夹持结构被配置为夹持待溅射基板；所述夹持结构在所述支撑结构所在平面上的正投影与所述支撑结构存在重合区域和非重合区域；

其中，位于所述非重合区域处的所述支撑结构和/或位于所述非重合区域处的所述夹持结构具有第一镂空结构。

2.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹持结构包括第一夹持部件、第二夹持部件以及连接所述第一夹持部件与所述第二夹持部件的连接部件；所述第一夹持部件所在的平面和所述第二夹持部件所在的平面平行，且所述第一夹持部件所在的平面和所述第二夹持部件所在的平面与所述连接部件所在的平面均垂直。

3.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述第一镂空结构位于所述夹持结构中，且贯穿所述夹持结构中的所述第一夹持部件。

4.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，所述第一镂空结构位于所述支撑结构中；

其中，所述第一夹持部件包括至少一个夹持子部，每个所述夹持子部均与所述支撑结构连接，且每个所述夹持子部在所述支撑结构所在平面上的正投影与所述支撑结构中的所述第一镂空结构不存在重合区域。

5.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，每个所述夹持子部的延伸方向与所述支撑结构延伸的方向平行或垂直。

6.根据权利要求4所述的夹具，其特征在于，所述第一夹持部件包括至少两个所述夹持子部，在所述支撑结构所在平面上，所述第一夹持部件包括的所有夹持子部均位于所述第一镂空结构的同一侧，或者，所述第一夹持部件包括的第一夹持子部与所述第一夹持部件中除所述第一夹持子部外的第二夹持子部位于所述第一镂空结构的不同侧。

7.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，位于所述重合区域处的所述支撑结构和所述夹持结构具有第二镂空结构，且所述第二镂空结构贯穿所述支撑结构和所述夹持结构。

8.根据权利要求1所述的夹具，其特征在于，所述夹具的镂空率大于或等于50％，且小于100％。

9.根据权利要求2所述的夹具，其特征在于，在所述支撑结构延伸的方向上，所述第一夹持部件的宽度大于所述第二夹持部件的宽度。

10.根据权利要求9所述的夹具，其特征在于，在所述支撑结构延伸的方向上，所述第一夹持部件的宽度为10mm～30mm，所述第二夹持部件的宽度为1mm～5mm；

在沿垂直于所述第一夹持部件所在平面的方向上，所述连接部件的厚度为1mm～5mm。

11.根据权利要求7所述的夹具，其特征在于，所述第一镂空结构和所述第二镂空结构均为封闭结构。

12.一种托盘，其特征在于，包括多个如权利要求1至11中任一项所述的夹具。

13.一种溅射系统，其特征在于，包括溅射设备以及如权利要求12所述的托盘。