[实用新型]高纯磷脱水脱氧装置有效

专利信息
申请号: 202022939503.9 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN214734548U 公开(公告)日: 2021-11-16
发明(设计)人: 许兴;刘向前;马英俊;林泉;闵振东;李万朋;柴晨;魏巍 申请(专利权)人: 有研新材料股份有限公司
主分类号: C01B25/04 分类号: C01B25/04
代理公司: 北京辰权知识产权代理有限公司 11619 代理人: 金铭
地址: 100089 *** 国省代码: 北京;11
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摘要:
搜索关键词: 高纯 脱水 脱氧 装置
【权利要求书】:

1.一种高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,包括:

盛料组件,用于盛放待处理的原料磷;

加热组件,套装在所述盛料组件的外壁上;

控制组件,包括温度表、热电偶以及调压器,其中,所述热电偶与所述温度表电连接,并设置在所述盛料组件的外壁上,所述调压器与所述加热组件连接以调整所述加热组件的加热功率;

抽真空组件,用于保持所述盛料组件内的真空状态。

2.根据权利要求1所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述盛料组件包括:用于盛放待处理的原料磷的石英内管以及套装在所述石英内管外的石英外管,其中,所述热电偶设置在所述石英内管的外壁上,所述石英外管与所述抽真空组件连通。

3.根据权利要求2所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述加热组件包括:氧化铝管以及缠绕在所述氧化铝管外壁的加热线圈,所述氧化铝管套装在所述石英外管的外壁上。

4.根据权利要求3所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述高纯磷脱水脱氧装置还包括保温罩,所述保温罩套装在所述加热组件的外侧。

5.根据权利要求3所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述抽真空组件包括:动力件以及与气路,其中,所述气路的两端分别与所述动力件以及所述石英外管连通。

6.根据权利要求5所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述气路与所述石英外管之间设置有密封法兰。

7.根据权利要求5所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述动力件为真空泵或分子泵。

8.根据权利要求1-7任一项所述的高纯磷脱水脱氧装置,其特征在于,所述高纯磷脱水脱氧装置还包括供气组件,用于向所述盛料组件内通入保护气体。

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