[实用新型]高纯磷脱水脱氧装置

说明书

本实用新型涉及高纯材料提纯装置技术领域，具体涉及一种高纯磷脱水脱氧装置，包括：盛料组件，用于盛放待处理的原料磷；加热组件，套装在盛料组件的外壁上；控制组件，包括温度指示控制器、热电偶以及调压器，其中，热电偶与温度指示控制器电连接，并设置在盛料组件的外壁上，调压器与加热组件连接以调整加热组件的加热功率；抽真空组件，用于保持盛料组件内的真空状态。通过设置加热组件以及抽真空组件，使得可以对含微量水的原料磷进行高温、真空处理，有效排除原料磷中水和氧分子，从而获得高纯磷。

技术领域

本实用新型涉及高纯材料提纯装置技术领域，具体涉及一种高纯磷脱水脱氧装置。

背景技术

在半导体行业，高纯磷主要用于磷化铟和磷化镓等磷化物多晶的合成制备，是生产磷化铟和磷化镓等材料所需的重要原料，随着5G光通讯的迅猛发展，磷化铟受到更多青睐，高纯磷的用量会大大增加。在多晶合成时，原料磷中所含的微量水和氧会和镓、铟在高温下反应生成氧化物，变成浮渣，浮渣一方面影响多晶的化学原子配比，影响多晶的质量，另一方面会影响单晶的正常生长，增加晶变的概率，大大降低单晶的生产效率，并且水分子在高温下会和石英作用降低石英合成管的承压能力，增大炸炉的几率，对生产安全造成威胁。

实用新型内容

本实用新型旨在至少在一定程度上解决相关技术中的上述技术问题。为此，本实用新型提出一种高纯磷脱水脱氧装置，解决上述至少一个技术问题。

为了实现上述目的，本实用新型第一方面提供了一种高纯磷脱水脱氧装置，包括：

盛料组件，用于盛放待处理的原料磷；

加热组件，套装在所述盛料组件的外壁上；

控制组件，包括温度表、热电偶以及调压器，其中，所述热电偶与所述温度表电连接，并设置在所述盛料组件的外壁上，所述调压器与所述加热组件连接以调整所述加热组件的加热功率；

抽真空组件，用于保持所述盛料组件内的真空状态。

另外，根据本实用新型上述高纯磷脱水脱氧装置还可以具有如下附加的技术特征：

根据本实用新型的一个实施例，所述盛料组件包括：用于盛放待处理的原料磷的石英内管以及套装在所述石英内管外的石英外管，其中，所述热电偶设置在所述石英内管的外壁上，所述石英外管与所述抽真空组件连通。

根据本实用新型的一个实施例，所述加热组件包括:氧化铝管以及缠绕在所述氧化铝管外壁的加热线圈，所述氧化铝管套装在所述石英外管的外壁上。

根据本实用新型的一个实施例，所述高纯磷脱水脱氧装置还包括保温罩，所述保温罩套装在所述加热组件的外侧。

根据本实用新型的一个实施例，所述抽真空组件包括：动力件以及与气路，其中，所述气路的两端分别与所述动力件以及所述石英外管连通。

根据本实用新型的一个实施例，所述气路与所述石英外管之间设置有密封法兰。

根据本实用新型的一个实施例，所述动力件为真空泵或分子泵。

根据本实用新型的一个实施例，所述高纯磷脱水脱氧装置还包括供气组件，用于向所述盛料组件内通入保护气体。

与现有技术相比，本实用新型具有以下有益效果：

通过设置加热组件以及抽真空组件，使得可以对含微量水的原料磷进行高温、真空处理，有效排除原料磷中水和氧分子，从而获得高纯磷。

附图说明

通过阅读下文优选实施方式的详细描述，各种其他的优点和益处对于本领域普通技术人员将变得清楚明了。附图仅用于示出优选实施方式的目的，而并不认为是对本实用新型的限制。而且在整个附图中，用相同的参考符号表示相同的部件。在附图中：