[实用新型]一种石墨舟自动拆装系统有效

专利信息
申请号: 202022941183.0 申请日: 2020-12-10
公开(公告)号: CN213796278U 公开(公告)日: 2021-07-27
发明(设计)人: 何勇;相恒萍;黎俊龙;卢远鹏 申请(专利权)人: 深圳市艾特自动化有限公司
主分类号: B25B27/02 分类号: B25B27/02
代理公司: 深圳市中科创为专利代理有限公司 44384 代理人: 冯建华;刘曰莹
地址: 518000 广东省深圳市宝安*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 石墨 自动 拆装 系统
【说明书】:

实用新型公开一种石墨舟自动拆装系统,该拆装系统包括:机架,所述机架上设有一输送轨道,所述机架上安装有:石墨舟定位机构,对石墨舟页进行锁紧固定,并在传动机构的驱动下沿所述输送轨道滑动;卡点拆卸机构,对通过石墨舟定位机构输送过来的石墨舟页上的旧石墨卡点进行定位及拆卸;卡点装入机构,位于所述卡点拆卸机构的下游工位,将新石墨卡点装入石墨舟孔位内;卡点压入机构,位于所述卡点装入机构的下游工位,将石墨舟孔位内装入的新石墨卡点压入石墨舟页内;传动机构,驱动所述石墨舟定位机构沿所述输送轨道运动;控制机构,分别与石墨舟定位机构、卡点拆卸机构、卡点装入机构、卡点压入机构和传动机构通信连接。

技术领域

本实用新型涉及石墨舟拆卸和装配技术领域,尤其涉及一种石墨舟自动拆装系统。

背景技术

随着光伏发电成本的不断降低,太阳能发电将具有更加广阔的市场空间。而石墨舟作为太阳能电池片镀减反射膜时的一种载体,其结构和大小直接影响硅片的转换效率和生产效率。石墨舟自动上下片机将未镀膜的硅片通过机器人吸盘放在石墨舟页的卡点上,每个舟片上可放固定数量的硅片。放置完全部的硅片后,石墨舟通过皮带线带动进入PECVD镀膜机。石墨舟上的硅片在PECVD镀膜机内部进行高温条件下的特定化学反应,实现硅片表面的镀膜工序。完成硅片镀膜后的石墨舟从PECVD里退出,然后再通过皮带线运输到自动上下片机,自动上下片机台的机器人把镀膜完成的成品硅片从石墨舟里卸取出来。

如图1-2所示,为现有技术中石墨舟的结构图,其中1为石墨舟页,2为陶瓷杆,3为石墨卡点,4为石墨螺母,5为石墨舟底座。石墨舟页1是一个长方形薄片,中间开了数个方形孔,石墨舟页1上会安装石墨卡点3,石墨卡点3主要是用来托住硅片,以保证硅片紧贴石墨舟页1。石墨舟页1之间由陶瓷套分隔开来,最后所有的石墨舟页1再由陶瓷杆2来固定,陶瓷杆2的两端再安装上石墨螺母4,装配完成后的石墨舟是由数量众多的、竖直放置的、相互平行的石墨舟页组成的,且石墨舟上下宽度一致,石墨舟页之间间距固定且相等,石墨舟页垂直于地面。在石墨舟往返多次进出PECVD后,石墨舟表面因为多次镀膜的原因,石墨舟表面、石墨舟页、石墨卡点、石墨卡点末端凸起与石墨舟页之间凹槽会因为多次镀膜而导致厚度、尺寸都会发生改成。石墨卡点末端凸起与石墨舟页之间凹槽因为多次镀膜导致凹槽的尺寸会变小,当凹槽尺寸变小到一定程度后,未镀膜的硅片就无法再放入这个凹槽中,从而导致硅片从石墨舟里掉出。同时由于石墨卡点凹槽处的直径很小,经过反复多次的硅片放入取出后,这个凹槽的直径会被磨损,严重的会出现石墨卡点从凹槽处断裂的情况。

因此,经过多次镀膜后的石墨舟都要定期从PECVD或者自动上下片机台里取出,到专用的清洗设备里去清洗掉表面多余的镀膜,同时要人工拆开石墨舟,再更换每个石墨舟页上的所有卡点。由于每个石墨舟页上有数量众多的石墨卡点(以八槽石墨舟页举例,一个石墨舟页上石墨卡点有24个),人工需要对一个石墨舟上的所有石墨舟页进行人工的卡点拆卸,再手动装入卡点并用专用压力治具压入卡点。因此这种情况就需要大量操作工人专门从事卡点更换工作,给生产带来了极大的人力成本。

目前业内都是人工进行拆装卡点,一个工厂需要七八人专门从事这项工,同时由于石墨是易碎物,人工操作经常导致装配不精准而造成石墨舟页损坏,另外石墨粉尘有极强的污染特性,对工人的肺部伤害极大,导致这个行业的工人招聘也很难。

故此业内亟需开发一种高效的、全自动的、精确的拆装系统及装配方法,以自动化地对石墨舟进行拆卸及装配,替代人工装配,提高生产的自动化程度,降低石墨舟页因此工序而产生的损坏,为生产节省成本,同时避免此生产工序对工人的身体危害。

实用新型内容

本实用新型的目的是克服现有技术的不足,提供一种石墨舟自动拆装系统。

为实现以上目的,本实用新型通过以下技术方案予以实现:本实用新型提供一种石墨舟自动拆装系统,包括:机架,所述机架上设有一输送轨道,所述机架上安装有:

石墨舟定位机构,对石墨舟页进行锁紧固定,并在传动机构的驱动下沿所述输送轨道滑动;

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