[实用新型]一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统

权利要求书

1.一种脱除光刻胶剥离液中非游离态树脂的系统，其特征在于，所述系统包括过滤装置(1)、废剥离液进料装置(4)、废剥离液输入管路(L1)和废剥离液输出管路(L2)；

所述过滤装置(1)包括至少一个过滤器，用于过滤待处理的废剥离液中的非游离态树脂，所述过滤器中从上至下设置有一级滤芯(1012)和二级滤芯(1013)，所述二级滤芯(1013)中设有电加热单元(1014)，所述电加热单元(1014)为可通电发热的电阻丝，用于对流经所述二级滤芯(1013)的所述废剥离液进行加热，使所述废剥离液中的非游离态树脂析出在所述二级滤芯(1013)上；

所述废剥离液进料装置(4)，与所述过滤装置(1)相连通，将待处理的所述废剥离液经由所述废剥离液输入管路(L1)从所述过滤装置(1)的下方供给至所述过滤装置(1)中，经所述过滤器进行过滤以后的所述废剥离液从所述过滤装置(1)的上方经由所述废剥离液输出管路(L2)供给至后续工序。

2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，所述过滤器中，所述一级滤芯(1012)孔径由1000-1500μm的过滤丝网折叠、堆积成厚度为19至20cm的滤芯，所述二级滤芯(1013)由孔径为400至600μm的过滤丝网折叠、堆积成厚度为20至25cm的滤芯。

3.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述过滤装置(1)包括至少两个并联设置的所述过滤器，所述废剥离液输入管路(L1)包括与每个过滤器对应连接的输入支路，所述废剥离液输出管路(L2)包括与每个过滤器对应连接的输出支路，在各个所述输入支路上分别设有进液阀门，在各个所述输出支路上分别设有出液阀门。

4.根据权利要求1或2所述的系统，其特征在于，所述系统还包括碱液贮存再生装置(2)、碱液输入管路(L3)、碱液循环回用管路(L4)和切换控制装置(3)；

所述碱液贮存再生装置(2)，用于将碱液输送至所述过滤装置(1)中，并对所述过滤器进行反洗以溶解脱除析出在所述二级滤芯(1013)上的堵塞物，以保证所述系统的连续运行，带有杂质的碱液再经由所述碱液循环回用管路(L4)循环回到所述碱液贮存再生装置(2)，经过所述碱液贮存再生装置(2)过滤后，将固体杂质留在所述碱液贮存再生装置(2)中，从所述碱液贮存再生装置(2)输出的再生后的碱液继续回到所述过滤器，持续进行碱液反洗操作；

所述切换控制装置(3)，用于控制所述过滤装置(1)和所述碱液贮存再生装置(2)的运行，以保证所述系统的连续运行。

5.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，所述碱液贮存再生装置(2)中设有碱液再生单元(201)和碱液贮存单元(202)，所述碱液再生单元(201)为四周封闭、上方敞口的储槽，所述碱液再生单元(201)中设有过滤网(2011)，反洗后的碱液经由所述碱液循环回用管路(L4)的管口导入至所述过滤网(2011)下方，经所述过滤网(2011)过滤后的杂质从所述碱液再生单元(201)下方的杂质清除口(2012)向外排出，高于所述过滤网(2011)的碱液反向溢流至所述碱液贮存单元(202)中形成所述再生后的碱液，继续用于碱液反洗操作。

6.根据权利要求4所述的系统，其特征在于，在所述碱液输入管路(L3)上进入各个所述过滤器的支路上分别设置反洗进口阀门，在所述碱液循环回用管路(L4)与各个所述过滤器连接的支路上还设有反洗出口阀门，通过所述切换控制装置(3)控制所述反洗进口阀门和所述反洗出口阀门的自动切换，在保持继续进行剥离液过滤操作的同时，对堵塞状态的所述过滤器进行反洗，以保证系统的连续不停机运行。