[实用新型]一种基于单晶硅外延片生产输送理片机有效

专利信息
申请号: 202022951265.3 申请日: 2020-12-08
公开(公告)号: CN213459683U 公开(公告)日: 2021-06-15
发明(设计)人: 李治宇;吴勇 申请(专利权)人: 四川雅吉芯电子科技有限公司
主分类号: H01L21/677 分类号: H01L21/677
代理公司: 成都乐易联创专利代理有限公司 51269 代理人: 张锐
地址: 625000 四川省雅安市*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 单晶硅 外延 生产 输送 理片机
【权利要求书】:

1.一种基于单晶硅外延片生产输送理片机,包括侧支撑板(23)、连接板(6),其特征在于:所述连接板(6)的顶部固定连接有两个夹紧电机(16),所述连接板(6)的顶部且位于夹紧电机(16)的两侧均转动连接有两个第二齿轮(5),两个所述夹紧电机(16)输出轴的外部与两个第二齿轮(5)转轴的外部分别传动连接有第一传动带(17)、第二传动带(18),所述连接板(6)的顶部且位于四个第二齿轮(5)的一侧分别啮合有第一齿轮(4),所述第一齿轮(4)转轴的外部固定连接有夹紧转动块(7)。

2.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产输送理片机,其特征在于,所述夹紧转动块(7)的顶部固定连接有两个弹性件(21),所述夹紧转动块(7)延伸块的顶部转动连接有限制杆(22),所述限制杆(22)的底端固定连接有夹紧板(20)。

3.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产输送理片机,其特征在于,所述侧支撑板(23)相对的两侧之间固定连接有顶连接板(24),所述顶连接板(24)的底部固定连接有电机(25),所述电机(25)输出轴的外部固定连接有转动连接板(26),所述转动连接板(26)的底部固定连接有两根转动连接杆(27),两个所述侧支撑板(23)之间传动连接有传输带(1)。

4.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产输送理片机,其特征在于,两个所述侧支撑板(23)相对的两侧且位于传输带(1)顶部的较近处均固定连接有固定块(11),两个所述固定块(11)相对的两侧之间固定连接有固定杆(10),所述固定杆(10)的底部通过定向箱固定板(12)固定连接有定向箱(13),所述固定杆(10)的外部且位于定向箱(13)的两侧均固定连接有第二连接杆(9),所述第二连接杆(9)内壁的顶部与底部之间转动连接有第二导向轮(14),所述第二连接杆(9)顶部的一侧且位于第二导向轮(14)的顶部固定连接有微型电机(8)。

5.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产输送理片机,其特征在于,所述连接板(6)的两侧均固定连接有两个第一连接杆(3),所述第一连接杆(3)内壁的顶部与底部之间转动连接有第一导向轮(2)。

6.根据权利要求1所述的基于单晶硅外延片生产输送理片机,其特征在于,所述连接板(6)的顶部开设有两个连接孔(15)。

7.根据权利要求3所述的基于单晶硅外延片生产输送理片机,其特征在于,当基于单晶硅外延片生产输送理片机再进行对单晶硅外延片(19)的加工时整理时,所述传输带(1)的顶部传输有若干单晶硅外延片(19)。

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