[实用新型]一种电容式静电吸附装置及静电吸附系统

权利要求书

1.一种电容式静电吸附装置，其包括基座、电极片和覆盖层，所述电极片设于基座上方且覆盖层覆盖于电极片；其特征在于，它还包括电容器，该电容器被配置为储存电能以为电极片供电。

2.根据权利要求1所述的电容式静电吸附装置，其特征在于，所述电容器包括充电接头，该充电接头被配置为可操作地与外部电源接触或分离。

3.根据权利要求1所述的电容式静电吸附装置，其特征在于，所述覆盖层为陶瓷覆盖层、硅胶覆盖层或塑料覆盖层。

4.根据权利要求1所述的电容式静电吸附装置，其特征在于，所述基座为陶瓷基座或与电容器、电极片绝缘设置的金属基座。

5.根据权利要求1所述的电容式静电吸附装置，其特征在于，所述电极片包括相互间绝缘设置的正电极和负电极，且，所述正电极和负电极以交替图案分布。

6.根据权利要求5所述的电容式静电吸附装置，其特征在于，所述电极片还包括零电极，该零电极与正电极、负电极之间的电气间隙相同。

7.一种静电吸附系统，其特征在于，包括底座、电容式静电吸附装置和外部电源，所述静电吸附装置被配置在底座上，所述外部电源被配置为可操作地与静电吸附装置接触或分离；所述静电吸附装置为权利要求1至6任一项所述的一种电容式静电吸附装置。

8.根据权利要求7所述的一种静电吸附系统，其特征在于，所述外部电源具有500至2000V的直流电压。

9.根据权利要求7所述的一种静电吸附系统，其特征在于，所述底座被配置为动力连接在一旋转驱动机构上。

10.根据权利要求7或9所述的一种静电吸附系统，其特征在于，所述静电吸附装置的数量不少于两个，且被配置在底座的一表面上。