[实用新型]一种电容式静电吸附装置及静电吸附系统

说明书

本实用新型涉及静电吸附领域，尤其涉及一种电容式静电吸附装置及静电吸附系统，其包括基座、电极片和覆盖层，所述电极片设于基座上方且覆盖层覆盖于电极片；它还包括电容器，该电容器被配置为储存电能以用于电极片供电。本实用新型的静电吸附装置可在脱离电源线后对工件进行持续地吸附。

技术领域

本实用新型涉及静电吸附领域，尤其涉及一种电容式静电吸附装置及静电吸附系统。

背景技术

现有静电吸附装置，采用的都是由静电吸附装置的控制器与静电吸附装置通过电源线进行持续供电，仅可以短距离实现其功能。

当设备需要旋转循环时，为静电吸附装置供电的电源线将会发生缠绕。现有技术中，最好的实现办法则是，通过增加静电吸附装置，完成循环工艺，但该办法不仅增加了设备数量而且将工艺复杂化及降低了工艺效率。

有鉴于此，提出本申请。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，而提供一种电容式静电吸附装置及静电吸附系统。

为了达到上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

一种电容式静电吸附装置，其包括基座、电极片和覆盖层，所述电极片设于基座上方且覆盖层覆盖于电极片；它还包括电容器，该电容器被配置为储存电能以为电极片供电供电。

进一步地，所述电容器包括充电接头，该充电接头被配置为可操作地与外部电源接触或分离。

进一步地，所述覆盖层为陶瓷覆盖层、硅胶覆盖层或塑料覆盖层。

进一步地，所述基座为陶瓷基座或与电容器、电极片绝缘设置的金属基座。

进一步地，所述电极片包括相互间绝缘设置的正电极和负电极，且，所述正电极和负电极以交替图案分布。

进一步地，所述电极片还包括零电极，该零电极与正电极、负电极之间的电气间隙相同。

本实用新型还涉及一种静电吸附系统，包括底座、电容式静电吸附装置和外部电源，所述静电吸附装置被配置在底座上，所述外部电源被配置为可操作地与静电吸附装置接触或分离；所述静电吸附装置为前述的一种电容式静电吸附装置。

进一步地，所述外部电源具有500至2000V的直流电压。

进一步地，所述底座被配置为动力连接在一旋转驱动机构上。

进一步地，所述静电吸附装置的数量不少于两个，且被配置在底座的一表面上。

由于采用了以上技术方案，本实用新型具有以下有益效果：

本实用新型的电容式静电吸附装置，通过充电后的电容器作为电极片的供电源，可在至少一个吸附周期内对工件进行吸附搬运；在旋转吸附工艺中，可有效地防止电源线缠绕，以增加了工作效率；同时，无需电源线的静电吸附系统有效增加了其内部的空间使用率。

附图说明

为了更清楚地说明本实用新型实施例的技术方案，下面将对实施例的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅涉及本实用新型的一些实施例，而非对本实用新型的限制。

图1是实施例一的总体结构示意图；

图2是实施例一中静电吸附装置的结构示意图；

图3是实施例一中电极片的结构示意图。

附图标记：

1.静电吸附装置；11.覆盖层；12.电极片；121.正电极；122.零电极；123.负电极；13.电容器；14.基座；2.底座。

具体实施方式