[实用新型]一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置有效

专利信息
申请号: 202022961309.0 申请日: 2020-12-11
公开(公告)号: CN214419234U 公开(公告)日: 2021-10-19
发明(设计)人: 李健乐;张淳;张丰;戴超;邢子淳;李伦;王彦君;孙晨光 申请(专利权)人: 中环领先半导体材料有限公司
主分类号: B28D7/04 分类号: B28D7/04;B28D5/04
代理公司: 北京卓特专利代理事务所(普通合伙) 11572 代理人: 段宇
地址: 214200 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 基于 ntc3050 型线切机单晶料座 回流 对接 装置
【权利要求书】:

1.一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,包括机架(1)及单晶晶棒本体(8),其特征在于:所述机架(1)顶部固接工作台(2),所述工作台(2)顶面垂直位置固接夹持装置(4),所述工作台(2)上放置料座(3),所述料座(3)与夹持装置(4)位置对应,所述工作台(2)顶面两侧固接对中气缸(5),所述对中气缸(5)动力端固接顶杆(6)一端,所述顶杆(6)另一端固接推板(7)一侧,所述推板(7)另一侧接触料座侧面;

所述夹持装置(4)包括底座(41),所述底座(41)通过螺栓(416)固接工作台(2)顶面,所述底座(41)顶面两侧分别固接两个滑杆(42),两个所述滑杆(42)左侧滑动连接两个左滑块(43),两个所述左滑块(43)固接左夹持臂(44),两个所述滑杆(42)右侧滑动连接两个右滑块(46),两个所述右滑块(46)固接右夹持臂(47),所述底座(41)顶面两端中心位置分别转动连接两个同步带轮(49),两个所述同步带轮(49)上套接皮带(410),所述左夹持臂(44)底端固接左固定块(45),所述左固定块(45)固接皮带(410),所述右夹持臂(47)底端固接右固定块(48),所述右固定块(48)固接皮带(410),所述底座(41)顶面位于两个滑杆(42)两侧位置分别固接两个固定板(411),两个所述固定板(411)顶端分别固接两个放置斜板(412),两个所述放置斜板(412)及两个固定板(411)呈对称关系,所述底座(41)顶面位于两个滑杆(42)中心位置固接夹持气缸(414),所述夹持气缸(414)动力端固接推杆(415)一端,所述推杆(415)另一端固接右夹持臂(47)。

2.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,其特征在于:所述左固定块(45)及右固定块(48)分别固接皮带(410)两侧,所述左固定块(45)与左侧同步带轮(49)间距与右固定块(48)与右侧同步带轮(49)间距一致。

3.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,其特征在于:所述单晶晶棒本体(8)放置在放置斜板(412)上,两个所述放置斜板(412)上转动连接多个滚轮(413),所述滚轮(413)接触单晶晶棒本体(8)。

4.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,其特征在于:所述料座(3)中心位置开设放置槽(31),所述放置槽(31)垂直位置与放置斜板(412)垂直位置一致,所述料座(3)两端分别固接两个料座把手(32)。

5.根据权利要求1所述的一种基于NTC3050型线切机单晶料座的回流对接装置,其特征在于:所述机架(1)底端固接四个支撑腿(9),所述机架(1)底端位于四个支撑腿(9)侧边位置固接四个辅助支撑架(10),所述辅助支撑架(10)为L型结构。

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