[实用新型]一种与AGV对接的晶圆花篮输送机

说明书

本实用新型公开了一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，包括用于搬运外部花篮的AGV小车，以及与AGV小车顺序连接的AGV上料花篮流道、平移运动机构、上料提升机花篮缓存流道、上料提升机、上料机构、空花篮内循环流道、下料提升机、下料机构、下料提升机花篮缓存流道以及用于将下料提升机花篮缓存流道输送过来的花篮进行输送的AGV下料花篮流道，其中所述AGV下料花篮流道的另一端与AGV小车对接输送。因此通过上述结构实现空花篮通过内循环流道直接流到下料提升机，免除了AGV小车搬运空花篮的步骤。

技术领域

本实用新型涉及一种吸盘的技术领域，特别涉及一种与AGV对接的晶圆花篮输送机。

背景技术

近年来，随着科技的进步，二极管芯片晶圆的制程亦不断精进，为了有效保证晶圆产品的良率，业者往往会于后段制程中，以点测装置将电压准确地传送至晶圆上的每个二极管芯片，并藉由侦测该晶圆上的二极管芯片的漏电与耐压等电性能，以判断出晶圆上每一芯片的优劣，每片二极管晶圆平均有数千颗或更多的芯片，单针或者少针机台在晶圆测试过程中的机械位移步数多、耗时长，导致测试产率低下，因此有了二极管晶圆测试设备，但是在二极管晶圆测试设备中需要对晶圆花篮进行运输，但是目前的运输结构复杂，效率低，故此需要改进。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，以解决上述背景技术中提出的结构复杂、效率低的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种与AGV对接的晶圆花篮输送机，包括相互连接的以下设备：

一个用于搬运外部花篮的AGV小车；

用于从AGV小车上获取上料花篮并进行传输的AGV上料花篮流道；

用于与AGV上料花篮流道另一端连接并用于传输花篮的平移运动机构；

用于将平移运动机构输送过来的花篮进行传输的上料提升机花篮缓存流道；

用于将上料提升机花篮缓存流道输送过来的花篮进行提升的上料提升机；

用于将上料提升机输送过来的花篮内的晶圆全部抽空的上料机构；

用于将上料机构中输送过来的空花篮进行输送的空花篮内循环流道；

用于将空花篮内循环流道中输送过来的空花篮进行输送并提升的下料提升机；

用于将下料提升机传输过来的空花篮内装入晶圆的下料机构；

用于将从下料机构中输出并装满晶圆的花篮进行输送的下料提升机花篮缓存流道；

用于将下料提升机花篮缓存流道输送过来的花篮进行输送的AGV下料花篮流道，其中所述AGV下料花篮流道的另一端与AGV小车对接输送。

进一步，还包括与外部搬运花篮的AGV小车对接的操作界面。

进一步，所述的AGV上料花篮流道、平移运动机构、上料提升机花篮缓存流道、上料提升机、上料机构、空花篮内循环流道、下料提升机、下料机构、下料提升机花篮缓存流道、AGV下料花篮流道均置于一个安装架内。

进一步，所述安装架外设置有安全门。

进一步，所述的安全门的上方设置有透气孔。

本实用新型得到的一种与AGV对接的晶圆花篮输送机的具有以下技术效果：实现空花篮通过内循环流道直接流到下料提升机，免除了AGV小车搬运空花篮的步骤， AGV小车的利用率提高了50%，最终结构简单、效率高。

附图说明

图1是本实施例1中一种与AGV对接的晶圆花篮输送机的立体图；

图2是本实施例1中一种与AGV对接的晶圆花篮输送机的俯视图；