[实用新型]一种用于晶圆的干燥装置有效
| 申请号： | 202022974433.0 | 申请日： | 2020-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN213931707U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 吴继勇 | 申请（专利权）人： | 江苏宿芯电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B1/00 | 分类号： | F26B1/00;F26B9/06;F26B21/00;F26B23/04;F26B25/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 223800 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 干燥 装置 | ||
1.一种用于晶圆的干燥装置，包括基座（1）、预热箱（2）、干燥箱（3）和干燥板（5），其特征在于：所述基座（1）的上方设置有预热箱（2），所述预热箱（2）一侧的基座（1）上设置有干燥箱（3），所述干燥箱（3）的内部对称插接有干燥板（5），所述预热箱（2）的顶部通过连管（4）与干燥箱（3）的顶部贯通连接，所述基座（1）底部的四角固定有垫脚（11）。
2.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的干燥装置，其特征在于，所述干燥箱（3）的两侧对称开设有插槽（31），所述插槽（31）内的干燥箱（3）内固定有限位架（32），所述限位架（32）的内侧插接固定有干燥板（5），所述干燥箱（3）和预热箱（2）的结构一致。
3.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的干燥装置，其特征在于，所述干燥箱（3）底部的基座（1）内贯穿开设有通槽（15），所述通槽（15）内固定有远红外加热管（12），所述远红外加热管（12）下方的通槽（15）内固定有风扇（13），所述通槽（15）上的基座（1）上端固定有卡框（14），所述干燥箱（3）底部卡接在卡框（14）外侧。
4.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的干燥装置，其特征在于，所述干燥板（5）的表面呈矩形阵列开设有放置槽（52），所述放置槽（52）的内部放置有晶圆主体（51）。
5.根据权利要求1所述的一种用于晶圆的干燥装置，其特征在于，所述干燥箱（3）和预热箱（2）的底部皆为贯通设计，且干燥箱（3）内部的限位架（32）倾斜设置并与插槽（31）对应。
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