[实用新型]一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置

权利要求书

1.一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置，其特征在于，包括主流道、整流器件、旁支通道和MEMS质量流量传感器，所述整流器件安装在所述主流道的内腔中，所述主流道的两端设置有测试流体入口和测试流体出口，所述旁支通道安装在所述主流道的壳体外表面上，所述旁支通道的内腔中安装有所述MEMS质量流量传感器，所述旁支通道包括旁支通道流入管和旁支通道流出管，所述旁支通道分别通过所述旁支通道流入管和所述旁支通道流出管连通到所述主流道上的第一通道口和第二通道口，所述第一通道口和所述第二通道口贯通所述主流道的壳体内外表面且沿着所述主流道的轴向依次开设，所述整流器件包括导流件和支撑件，所述导流件的外壁通过所述支撑件固定在所述主流道的内壁。

2.根据权利要求1所述的一种装置，其特征在于，所述旁支通道还包括传感器载板，所述传感器载板安装在所述旁支通道的内腔中，所述传感器载板上安装有所述MEMS质量流量传感器。

3.根据权利要求1所述的一种装置，其特征在于，所述旁支通道流入管的流体流动方向与所述主流道内的流体流动方向的第一夹角大于0度且小于等于90度，所述旁支通道流出管的流体流动方向与所述主流道内的流体流动方向的第二夹角大于0度且小于等于90度。

4.根据权利要求3所述的一种装置，其特征在于，所述第一夹角和所述第二夹角的度数相等。

5.根据权利要求1所述的一种装置，其特征在于，所述装置还包括稳流通道，所述稳流通道包括稳流入口和稳流出口，所述稳流通道安装在所述主流道外壳的内腔中且位于所述第一通道口的下方，待测试流体通过所述稳流入口流通到所述第一通道口和所述稳流出口。

6.根据权利要求1所述的一种装置，其特征在于，所述导流件为沿着所述主流道的轴向布置的导流管道，所述导流管道的外壁通过所述支撑件固定至所述主流道的内壁。

7.根据权利要求6所述的一种装置，其特征在于，所述整流器件还包括内部支撑件，所述内部支撑件包括第一隔离板，所述第一隔离板沿着所述导流管道的径向安装在所述导流管道的内腔中，所述第一隔离板的板面平行于流体流动方向。

8.根据权利要求7所述的一种装置，其特征在于，所述内部支撑件还包括沿着所述导流管道的径向安装在所述导流管道的内腔中的第二隔离板，所述第一隔离板和所述第二隔离板交叉90度安装在所述导流管道的内腔中。

9.根据权利要求1所述的一种装置，其特征在于，所述导流件为圆锥体，所述圆锥体的外壁通过所述支撑件固定至所述主流道的内壁，所述圆锥体的底面朝向所述测试流体出口。

10.根据权利要求6所述的一种装置，其特征在于，所述主流道的内径为R₁，所述导流件的内径为R₂，且R₁R₂；

当R₁＝2R₂时，所述导流件和所述主流道之间沿着周向均匀分布有四个所述支撑件；

当R₁2R₂时，所述导流件和所述主流道之间沿着周向均匀分布有大于四个所述支撑件；

当R₁2R₂时，所述导流件和所述主流道之间沿着周向均匀分布小于四个所述支撑件。