[实用新型]一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置

说明书

本实用新型公开了一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置，涉及流体流量测试领域，包括：主流道、整流器件、旁支通道和MEMS质量流量传感器，整流器件安装在主流道的内腔中，旁支通道安装在主流道的壳体外表面上，旁支通道的内腔中安装有MEMS质量流量传感器，旁支通道包括旁支通道流入管和旁支通道流出管，旁支通道分别通过旁支通道流入管和旁支通道流出管连通到主流道上的第一通道口和第二通道口，整流器件包括导流件和支撑件，导流件的外壁通过支撑件固定在主流道的内壁，一方面能够减小主流道的有效管径，降低流体的雷诺数，保证流体的平稳性，另一方面能够驱动流体流过旁支通道，实现流体流量的测量。

技术领域

本实用新型涉及流体流量测试领域，尤其是一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置。

背景技术

目前MEMS质量流量传感器的测试管道广泛应用在呼吸机、工业气体流量测试领域中，主要用于对医疗设备、工业设备中对洁净的空气、氧气、非/弱腐蚀性工业气体或低粘性不导电的洁净液体进行流量测量，通过将传感器芯片不放在流体流动的中心流道中可以精确的测量流量大小，但现有技术的流道会对流体产生扰动，导致测试精度降低，例如文丘里结构管道，通过测量旁通道或腔室内的流量或压力来估算流道整体的流量情况，但这一方案不适合管径较大或流体流速较快的流体测量，且这种方案组装较为复杂，管内流体流动过程中可能会产生紊流，导致旁通道或腔室流量不稳定，进而影响流量的测量精度。

实用新型内容

本发明人针对上述问题及技术需求，提出了一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置，本实用新型的技术方案如下：

一种基于MEMS质量流量传感器的流量测量装置，包括主流道、整流器件、旁支通道和MEMS质量流量传感器，所述整流器件安装在所述主流道的内腔中，所述主流道的两端设置有测试流体入口和测试流体出口，所述旁支通道安装在所述主流道的壳体外表面上，所述旁支通道的内腔中安装有所述MEMS质量流量传感器，所述旁支通道包括旁支通道流入管和旁支通道流出管，所述旁支通道分别通过所述旁支通道流入管和所述旁支通道流出管连通到所述主流道上的第一通道口和第二通道口，所述第一通道口和所述第二通道口贯通所述主流道的壳体内外表面且沿着所述主流道的轴向依次开设，所述整流器件包括导流件和支撑件，所述导流件的外壁通过所述支撑件固定在所述主流道的内壁。

其进一步的技术方案为，所述旁支通道还包括传感器载板，所述传感器载板安装在所述旁支通道的内腔中，所述传感器载板上安装有所述MEMS质量流量传感器。

其进一步的技术方案为，所述旁支通道流入管的流体流动方向与所述主流道内的流体流动方向的第一夹角大于0度且小于等于90度，所述旁支通道流出管的流体流动方向与所述主流道内的流体流动方向的第二夹角大于0度且小于等于90度。

其进一步的技术方案为，所述第一夹角和所述第二夹角的度数相等。

其进一步的技术方案为，所述装置还包括稳流通道，所述稳流通道包括稳流入口和稳流出口，所述稳流通道安装在所述主流道外壳的内腔中且位于所述第一通道口的下方，待测试流体通过所述稳流入口流通到所述第一通道口和所述稳流出口。

其进一步的技术方案为，所述导流件为沿着所述主流道的轴向布置的导流管道，所述导流管道的外壁通过所述支撑件固定至所述主流道的内壁。

其进一步的技术方案为，所述整流器件还包括内部支撑件，所述内部支撑件包括第一隔离板，所述第一隔离板沿着所述导流管道的径向安装在所述导流管道的内腔中，所述第一隔离板的板面平行于流体流动方向。

其进一步的技术方案为，所述内部支撑件还包括沿着所述导流管道的径向安装在所述导流管道的内腔中的第二隔离板，所述第一个隔离板和所述第二隔离板交叉90度安装在所述导流管道的内腔中。

其进一步的技术方案为，所述导流件为圆锥体，所述圆锥体的外壁通过所述支撑件固定至所述主流道的内壁，所述圆锥体的底面朝向所述测试流体出口。