[实用新型]光纤预制棒芯棒用两种规格包芯比生产设备

权利要求书

1.一种光纤预制棒芯棒用两种规格包芯比生产设备，其特征在于：该光纤预制棒芯棒用两种规格包芯比生产设备包括沉积腔体、提升电机、升降杆、靶棒、包层喷灯、芯层喷灯、气体质量流量控制器MFC、PLC系统和人机界面，所述沉积腔体外侧设置有提升电机，提升电机驱动升降杆向上移动，升降杆下端位于沉积腔体内且下端安装有靶棒，靶棒由电机驱动转动，所述沉积腔体内安装有包层喷灯和芯层喷灯，包层喷灯和芯层喷灯分别通过气体管道与GeCl4气源和SiCl4气源连接，包层喷灯和芯层喷灯处的气体管道上分别安装有气体质量流量控制器MFC，两气体质量流量控制器MFC和提升电机通过信号线连接到PLC系统，PLC系统通过信号线与人机界面连接。