[实用新型]一种抛光设备及其滚轮有效
申请号: | 202023004035.2 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN213692081U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 周翔;黄明;陈园;雷佳;鲁涛 | 申请(专利权)人: | 上饶捷泰新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘翠香 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 设备 及其 滚轮 | ||
1.一种滚轮,其特征在于,包括滚轮主体,所述滚轮主体的表面利用DNA双螺旋状部件环绕,所述DNA双螺旋状部件的表面设置有毛细引液部件,且所述滚轮主体的两端均具有连接部件。
2.根据权利要求1所述的滚轮,其特征在于,所述毛细引液部件为U型凹槽。
3.根据权利要求2所述的滚轮,其特征在于,所述U型凹槽的直径范围为0.1mm至1.5mm。
4.根据权利要求3所述的滚轮,其特征在于,所述U型凹槽的深度范围为3.0mm至6.0mm。
5.根据权利要求1所述的滚轮,其特征在于,所述DNA双螺旋状部件与所述滚轮主体之间的夹角范围为1°至20°。
6.根据权利要求5所述的滚轮,其特征在于,所述DNA双螺旋状部件的数量为2个至4个。
7.根据权利要求1-6任一项所述的滚轮,其特征在于,所述滚轮主体的两端的连接部件包括位于所述滚轮主体的头部的卡口和位于所述滚轮主体的尾部的卡槽。
8.根据权利要求7所述的滚轮,其特征在于,所述滚轮主体为聚偏氟乙烯滚轮主体或聚四氟乙烯滚轮主体。
9.一种抛光设备,包括具有液体槽的抛光设备主体,其特征在于,所述抛光设备主体中可转动式连接有如权利要求1-8任一项所述的滚轮,所述滚轮的一部分浸于所述液体槽的抛光液中,所述毛细引液部件用于吸取所述抛光液并跟随所述滚轮主体的转动转至上部接触抛光对象,利用所述抛光液对所述抛光对象抛光。
10.根据权利要求9所述的抛光设备,其特征在于,所述滚轮与所述抛光设备之间利用传动齿轮进行可转动式连接。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的