[实用新型]一种抛光设备及其滚轮有效
申请号: | 202023004035.2 | 申请日: | 2020-12-14 |
公开(公告)号: | CN213692081U | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
发明(设计)人: | 周翔;黄明;陈园;雷佳;鲁涛 | 申请(专利权)人: | 上饶捷泰新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L31/18 | 分类号: | H01L31/18;H01L21/67 |
代理公司: | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人: | 刘翠香 |
地址: | 334100 江西*** | 国省代码: | 江西;36 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 抛光 设备 及其 滚轮 | ||
本申请公开了一种抛光设备及其滚轮,该滚轮包括滚轮主体,所述滚轮主体的表面利用DNA双螺旋状部件环绕,所述DNA双螺旋状部件的表面设置有毛细引液部件,且所述滚轮主体的两端均具有连接部件,该抛光设备包括具有液体槽的抛光设备主体,其中可转动式连接有上述滚轮,所述滚轮的一部分浸于所述液体槽的抛光液中,所述毛细引液部件用于吸取所述抛光液并跟随所述滚轮主体的转动转至上部接触抛光对象,利用所述抛光液对所述抛光对象抛光。上述抛光设备及其滚轮能够在高减重的情况下,提高刻蚀背抛的平整度和均匀性,提高太阳能电池的效率。
技术领域
本实用新型涉及光伏电池制造技术领域,更具体地说,涉及一种抛光设备及其滚轮。
背景技术
随着不可再生能源的日益减少,人类目前正在发展替代常规化石能源的材料,而太阳能作为一种取之不尽、用之不竭的能源,逐渐走入我们生活中,并且随着技术的不断进步,太阳能电池的光电转化率越来越高。现有技术中,PERC太阳能电池片的生产工艺主要包括制绒、扩散、激光SE、刻蚀、热氧化、背钝化、正膜、激光开槽、丝网印刷和烧结等等,其中,刻蚀是晶硅太阳能电池制备的非常重要的一步。
现有技术中,单晶PERC电池的刻蚀主要是通过滚轮进行引液的,也就是通过HF/HNO3混合液体对硅片进行腐蚀,达到高去重的效果,但在高减重的情况下,刻蚀的背面均匀性并不足够好。
实用新型内容
为解决上述技术问题,本实用新型提供了一种抛光设备及其滚轮,能够在高减重的情况下,提高刻蚀背抛的平整度和均匀性,提高太阳能电池的效率。
本实用新型提供的一种滚轮,包括滚轮主体,所述滚轮主体的表面利用DNA双螺旋状部件环绕,所述DNA双螺旋状部件的表面设置有毛细引液部件,且所述滚轮主体的两端均具有连接部件。
优选的,在上述滚轮中,所述毛细引液部件为U型凹槽。
优选的,在上述滚轮中,所述U型凹槽的直径范围为0.1mm至1.5mm。
优选的,在上述滚轮中,所述U型凹槽的深度范围为3.0mm至6.0mm。
优选的,在上述滚轮中,所述DNA双螺旋状部件与所述滚轮主体之间的夹角范围为1°至20°。
优选的,在上述滚轮中,所述DNA双螺旋状部件的数量为2个至4个。
优选的,在上述滚轮中,所述滚轮主体的两端的连接部件包括位于所述滚轮主体的头部的卡口和位于所述滚轮主体的尾部的卡槽。
优选的,在上述滚轮中,所述滚轮主体为聚偏氟乙烯滚轮主体或聚四氟乙烯滚轮主体。
本实用新型提供的一种抛光设备,包括具有液体槽的抛光设备主体,所述抛光设备主体中可转动式连接有如上面任一项所述的滚轮,所述滚轮的一部分浸于所述液体槽的抛光液中,所述毛细引液部件用于吸取所述抛光液并跟随所述滚轮主体的转动转至上部接触抛光对象,利用所述抛光液对所述抛光对象抛光。
优选的,在上述抛光设备中,所述滚轮与所述抛光设备之间利用传动齿轮进行可转动式连接。
从上述技术方案可以看出,本实用新型所提供的上述滚轮,由于滚轮主体的表面利用DNA双螺旋状部件环绕,所述DNA双螺旋状部件的表面设置有毛细引液部件,且所述滚轮主体的两端均具有连接部件,这种毛细引液部件和DNA双螺旋状部件的结合能够更均匀的向上引液,因此能够在高减重的情况下,提高刻蚀背抛的平整度和均匀性,提高太阳能电池的效率。本实用新型提供的上述抛光设备,由于包括上述滚轮,因此也具有上述优点。
附图说明
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L31-00 对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射,或微粒辐射敏感的,并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或者专门适用于通过这样的辐射进行电能控制的半导体器件;专门适用于制造或处理这些半导体器件或其部件的方法或
H01L31-02 .零部件
H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
H01L31-08 .其中的辐射控制通过该器件的电流的,例如光敏电阻器
H01L31-12 .与如在一个共用衬底内或其上形成的,一个或多个电光源,如场致发光光源在结构上相连的,并与其电光源在电气上或光学上相耦合的