[实用新型]一种用于太阳能电池的刻蚀装置

权利要求书

1.一种用于太阳能电池的刻蚀装置，包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽，其特征在于，所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述伸缩装置包括垂直的伸缩杆和与伸缩杆连接的花篮；所述伸缩装置沿滑轨在装置本体的内部运动；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述液体槽Ⅱ设有夹层；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述旋转轴固定在装置本体内部，通过驱动装置驱动；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周方向上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述液体槽Ⅲ设有夹层；所述第四区域设有热风机；所述第一区域设有入口，第四区域设有出口。

2.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于，所述夹层中通入冷水。

3.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于，所述第一区域、第二区域、第三区域和第四区域上方设有引风装置。

4.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于，所述液体槽Ⅱ中装有氢氟酸和硝酸的混合溶液。

5.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于，所述液体槽Ⅲ中装有氢氧化钠水溶液。

6.如权利要求1所述的一种用于太阳能电池的刻蚀装置，其特征在于，所述液体槽Ⅰ为五个，其中一个槽装有氢氟酸，一个槽装有氢氟酸和硝酸的混合溶液，其余三个槽装有水。