[实用新型]一种用于太阳能电池的刻蚀装置

说明书

本实用新型涉及一种用于太阳能电池的刻蚀装置，属于太阳能电池的技术领域。包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述第四区域设有热风机。本实用新型合理的利用了空间，将原有的多个横置液体槽收缩至类似转盘的装置上，减小了设备的占地面积。

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池的技术领域，具体涉及一种用于太阳能电池的刻蚀装置。

背景技术

太阳能电池又称为太阳能光伏，是一种通过光电效应或者光化学效应直接把光能转化成电能的装置。刻蚀作为太阳电池生产中的第三道工序，其主要作用是去除扩散后硅片四周的N型硅，防止漏电。现有的刻蚀设备设有多个处理工段，如刻蚀段、水洗段、酸洗段、碱洗段等。这些工段各自独立，一字排开，会占用较大的面积，这不利于扩大生产规模。

实用新型内容

针对现有技术中太阳能电池刻蚀装置占地面积大的问题，本实用新型提供一种用于太阳能电池的刻蚀装置，以解决上述问题。

一种用于太阳能电池的刻蚀装置，包括装置本体、伸缩装置和多个液体槽。所述装置本体的内部设有三个挡板，将装置本体内部依次分隔成第一区域、第二区域、第三区域和第四区域；所述装置本体的上部设有滑轨；所述滑轨下方设置有伸缩装置；所述伸缩装置包括垂直的伸缩杆和与伸缩杆连接的花篮；所述伸缩装置沿滑轨在装置本体的内部运动；所述第一区域设有液体槽Ⅱ；所述液体槽Ⅱ设有夹层；所述第二区域设有旋转装置；所述旋转装置包括旋转轴和五个固定于旋转轴上的连接杆；所述旋转轴固定在装置本体内部，通过驱动装置驱动；所述五个连接杆均匀分布在旋转轴的圆周方向上；所述连接杆的另一端连接有液体槽Ⅰ；所述第三区域设有液体槽Ⅲ；所述液体槽Ⅲ设有夹层；所述第四区域设有热风机；所述第一区域设有入口，第四区域设有出口。

优选的，所述旋转装置、伸缩装置和热风机通过计算机控制运行。

优选的，所述夹层中通入冷水。

优选的，所述第一区域、第二区域、第三区域和第四区域上方设有引风装置。

优选的，所述液体槽Ⅱ中装有氢氟酸和硝酸的混合溶液。

优选的，所述液体槽Ⅲ中装有氢氧化钠水溶液。

优选的，所述液体槽Ⅰ为五个，其中一个槽装有氢氟酸，一个槽装有氢氟酸和硝酸的混合溶液，其余三个槽装有水。

本实用新型的工作原理为：从前一步传送来的硅片由入口进入装置本体，放置于花篮上，经外部计算机控制移动至第二区域，当硅片位于液体槽Ⅰ上方时，停止移动，此时液体槽Ⅰ内氢氟酸，控制伸缩杆向下伸出，直到硅片距离液面为1mm时停止操作，靠液体的张力接触硅片进行除PSG操作；待去除完成后，控制伸缩杆缩回，提起硅片，然后移动至第一区域液体槽Ⅱ的上方，重复前一步操作，进行刻蚀；待刻蚀完成后，提起硅片，再次移动至第二区域，此时通过转动旋转装置，调整液体槽Ⅰ内液体，将装有水的液体槽转动至硅片下方，将刻蚀后的硅片进行水洗。后续的酸洗、碱洗按照上述的方法操作。洗涤完成后，将硅片移动至第四区域，利用热风机将将硅片吹干，然后通过出口将硅片转移出刻蚀机。

本实用新型的有益效果为：

本实用新型合理的利用了空间，将可常温操作的酸洗、碱洗步骤的液体槽放置于旋转装置上，将原有的多个横置液体槽收缩至类似转盘的装置上。这样在后期扩大生产规模时，减小了因占地面积而导致的不利因素。

附图说明