[实用新型]一种用于剥离膜系统的真空抽速装置有效
申请号: | 202023005123.4 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN213838954U | 公开(公告)日: | 2021-07-30 |
发明(设计)人: | 张剑;柴振;蒙峻;罗成 | 申请(专利权)人: | 兰州科近泰基新技术有限责任公司 |
主分类号: | F04D19/04 | 分类号: | F04D19/04;F04D27/00;F04B41/06 |
代理公司: | 兰州智和专利代理事务所(普通合伙) 62201 | 代理人: | 张英荷 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 剥离 系统 真空 装置 | ||
1.一种用于剥离膜系统的真空抽速装置,其特征在于,包括分子泵(3)、角阀(5)、三通接头(4)、四通接头(6)、微调阀(7)和粗抽泵;
所述分子泵(3)的进气端连接剥离膜系统(1),分子泵(3)的出气端连接三通接头(4)的第一接口,三通接头(4)的第二接口连接角阀(5)的一个接口,角阀(5)的另一个接口连接四通接头(6)的第一接口,四通接头(6)的第二接口连接粗抽泵;三通接头(4)的第三接口连接微调阀(7)的一个接口,微调阀(7)的另一个接口连接四通接头(6)的第三接口,四通接头(6)的第四接口上连接有截止阀(8)。
2.根据权利要求1所述的用于剥离膜系统的真空抽速装置,其特征在于,所述粗抽泵与四通接头(6)的第二接口之间还连接有隔膜阀(9)和电磁阀(10)。
3.根据权利要求2所述的用于剥离膜系统的真空抽速装置,其特征在于,所述粗抽泵选用机械泵(11)。
4.根据权利要求1所述的用于剥离膜系统的真空抽速装置,其特征在于,所述截止阀(8)后方连接有供气装置。
5.根据权利要求1所述的用于剥离膜系统的真空抽速装置,其特征在于,所述角阀(5)采用全金属角阀。
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