[实用新型]一种用于剥离膜系统的真空抽速装置

说明书

本实用新型公开了一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，包括分子泵、角阀、三通接头、四通接头、微调阀和粗抽泵；所述分子泵的进气端连接剥离膜系统，分子泵的出气端连接三通接头的第一接口，三通接头的第二接口连接角阀的一个接口，角阀的另一个接口连接四通接头的第一接口，四通接头的第二接口连接粗抽泵；三通接头的第三接口连接微调阀的一个接口，微调阀的另一个接口连接四通接头的第三接口，四通接头的第四接口上连接有截止阀。该装置通过角阀和微调阀配合控制真空抽速，有效缩短工作时间，方便控制和调节，同时可降低对操作人员经验的依赖，防止抽真空，及停机检修时造成剥离膜系统损坏。

技术领域

本实用新型属于真空技术领域，具体涉及一种用于剥离膜系统的真空抽速装置。

背景技术

HIMM是我国第一台具有自主知识产权的碳离子治疗设备，其主体部分包括一台等时性回旋注入器，一台加速能量可至400Mev的同步加速器，以及5个治疗终端。其中，剥离膜系统是同步加速器的重要组成部分，主要用于向主加速器剥离注入C⁵⁺离子。

剥离膜选用碳膜，膜厚15μg/cm²（约0.1μm），由于其材质为脆性材料，且厚度非常薄，轻微的震动都可能造成膜的破裂。剥离膜系统需要在5×10^-7Pa的超高真空环境下工作，因此需要真空获得设备将剥离膜系统抽成真空。在获得真空的初始阶段，气体流动会造成剥离膜扰动，为确保剥离膜的状态完好，要将气体流动速度限制在一定范围。并且在获得真空的不同阶段，剥离膜系统对抽速的需求不同。

现有真空抽速设备存在的问题：

1.对工作人员的操作要求高，容错率低

在现有技术条件下，真空抽速的控制主要依靠操作人员对角阀的开合度大小来调节，该过程需要对真空设备操作十分熟练。操作稍有不慎，就会导致剥离膜因气流扰动过大而损坏。

2.假如选用抽速很小的粗抽泵，将会在获得高真空的过程中无法成为前级泵

在获得高真空的过程中，当真空度＜1×10^-1mbar时，由仿真模拟及实验测试可知，此时的气体扰动对剥离膜不再产生破坏性影响。此时，当使用分子泵作为高真空获得的主泵时，还需要配置一台与其抽速匹配的前级泵。为解决上述矛盾，则需要两套粗抽系统，该真空获得系统所需设备较多，成本高，结构复杂。

3.检修困难

在剥离膜系统的检修过程中，如需更换损坏部分膜片或机械部件维修，需要在系统中充入高纯氮气变为常压状态，充入氮气的过程中，控制充入气体的流速也比较困难。

实用新型内容

本实用新型提供了一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，目的在于解决现有真空抽速设备中存在的上述问题。

为此，本实用新型采用如下技术方案：

一种用于剥离膜系统的真空抽速装置，包括分子泵、角阀、三通接头、四通接头、微调阀和粗抽泵；

所述分子泵的进气端连接剥离膜系统，分子泵的出气端连接三通接头的第一接口，三通接头的第二接口连接角阀的一个接口，角阀的另一个接口连接四通接头的第一接口，四通接头的第二接口连接粗抽泵；三通接头的第三接口连接微调阀的一个接口，微调阀的另一个接口连接四通接头的第三接口，四通接头的第四接口上连接有截止阀。

进一步地，所述粗抽泵与四通接头的第二接口之间还连接有隔膜阀和电磁阀。

进一步地，所述粗抽泵选用机械泵。

进一步地，所述截止阀后方连接有供气装置。

进一步地，所述角阀采用全金属角阀。

本实用新型的有益效果在于：