[实用新型]非对称晶圆清洗花篮

说明书

本发明公开了一种非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角，清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构，所述晶圆限位槽底部为V形且不封闭。本发明提供的非对称晶圆清洗花篮，表面设置成倾斜状，液体在花篮表面无法停留，不会形成残留的液滴，提高安全性能。

技术领域

本发明涉及一种非对称晶圆清洗花篮。

背景技术

晶圆通常需要用多种危险化学品(强酸、强碱、强氧化剂或强腐蚀性化学品)来进行清洗，清洗时放置在清洗花篮内，清洗花篮的制成材料多采用聚四氟乙烯，聚四氟乙烯是一种表面自清洁疏水材料，水溶液在疏水性材料的表面易形成一个很大的接触角进而结成水滴。因此，残留在花篮平整表面的残液易结成水滴，在多溶液清洗晶圆的制程中，此类水滴残液在花篮提拉及移动切换的过程中，易从疏水花篮表面滴落。一方面，残液可能滴落在实验台上，进而被操作人员误碰造成生理伤害。另一方面，残液可能随花篮进入下一个溶液，影响溶液的浓度，甚至一定程度上影响其化学性质。

发明内容

本发明的目的在于提供一种非对称晶圆清洗花篮，可以放置清洗液在花篮表面形成残留的液滴。

本发明采用的技术方案为：非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，其特征在于：所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角，角度范围为10°-65°。清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构，所述晶圆限位槽底部为V形且不封闭。

优选的，还包括提手，所述提手设置于清洗花篮主体上。

优选的，所述清洗花篮主体采用聚四氟乙烯制成。

优选的，所述晶圆限位槽垂直于清洗花篮主体的底面设置。

优选的，所述提手与清洗花篮主体一体成型。

优选的，所述清洗花篮主体上设提手卡位孔，所述提手通过提手卡位孔固定在清洗花篮主体上。

本发明提供的非对称晶圆清洗花篮，表面设置成倾斜状，液体在花篮表面无法停留，不会形成残留的液滴，提高使用的安全性能。

附图说明

图1、实施例1的非对称晶圆清洗花篮结构示意图。

图2、实施例2的非对称晶圆清洗花篮结构示意图。

图3、本非对称晶圆清洗花篮截面图。

具体实施方式

以下是结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

实施例1

如图1所示，本非对称晶圆清洗花篮，包括清洗花篮主体1，所述清洗花篮主体上设多个晶圆限位槽2，所述晶圆限位槽的尺寸与晶圆的尺寸匹配，便于晶圆插入晶圆限位槽中，所述清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面与清洗花篮主体的底面呈一定夹角，清洗花篮主体设有晶圆限位槽的面为倾斜结构，从图3可以看出，所述晶圆限位槽的底部为V字形，没有封闭，没有封闭可让溶液残留从底部流走。

实施例2

如图2所示，结构与实施例基本一致，还包括提手3，所述提手设置于清洗花篮主体上，与清洗花篮主体一体成型。

上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。