[实用新型]样品瓶清洗装置有效
申请号: | 202023014486.4 | 申请日: | 2020-12-15 |
公开(公告)号: | CN216297333U | 公开(公告)日: | 2022-04-15 |
发明(设计)人: | 郭恺辰;赵莉珍 | 申请(专利权)人: | 西安奕斯伟硅片技术有限公司;西安奕斯伟材料技术有限公司 |
主分类号: | B08B3/12 | 分类号: | B08B3/12;B08B9/24 |
代理公司: | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人: | 许静;张博 |
地址: | 710065 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 样品 清洗 装置 | ||
1.一种样品瓶清洗装置,其特征在于,包括一具有上料口和下料口的密封腔室,所述密封腔室内包括多个功能槽,多个所述功能槽包括瓶盖拆装槽、清洗液填充槽、第一清洗槽、第二清洗槽和烘干槽,所述密封腔室内还包括用于在多个所述功能槽之间同时传送多个不同大小的样品瓶的传送结构。
2.根据权利要求1所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,每个所述功能槽为一个密封箱体结构,所述密封箱体结构包括自动开关门,使得样品瓶进入所述功能槽,或者从所述功能槽内输出。
3.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述传送结构包括:
传送机械臂;
位于所述传送机械臂一端的固定盘,所述固定盘上设置多个固定孔;
与多个所述固定孔一一对应的多个夹持部,所述夹持部包括至少两个相对设置的夹持件,以及调节件,所述调节件用于控制至少两个所述夹持件相对移动以夹持样品瓶,所述夹持件位于对应的所述固定孔的边沿。
4.根据权利要求3所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述夹持部包括两个相对设置的弧形夹持件。
5.根据权利要求4所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,每个所述弧形夹持件的夹持面上设置有贯穿所述弧形夹持件设置的吸附孔,所述调节件包括与所述吸附孔连接的吸附管道,以及与所述吸附管道连接的真空泵。
6.根据权利要求3所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述瓶盖拆装槽内设置有第一机械手臂,所述第一机械手臂设置有开口大小可调的夹取部,所述夹取部夹取瓶盖后沿着第一方向旋转以取下瓶盖,或者沿着与所述第一方向相反的方向旋转以盖紧瓶盖。
7.根据权利要求6所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述夹取部包括至少两个相对设置的机械爪,至少两个机械爪相向或相背移动以调节至少两个机械爪之间的空间大小。
8.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,还包括用于向位于所述清洗液填充槽内的样品瓶填充清洗液的清洗液填充结构,
所述清洗液由氢氟酸、双氧水、硝酸中的一种和超纯水组成,所述清洗液填充结构包括氢氟酸存储部、双氧水存储部、硝酸存储部、第一超纯水存储部、溶液混合部,以及分别将所述氢氟酸存储部、所述双氧水存储部、所述硝酸存储部和所述第一超纯水存储部与所述溶液混合部连通的四个进液管道;
所述清洗液填充结构还包括与所述溶液混合部连通的出液管道;
所述清洗液填充结构还包括调节部,所述调节部包括设置于每个所述进液管道上的第一阀门和第一流量计和设置于所述出液管道上的第二阀门和第二流量计,所述调节部用于根据每个所述进液管道上的所述第一流量计的反馈,控制对应的所述进液管道上的所述第一阀门的开关状态,以调节所述清洗液中的氢氟酸、双氧水或硝酸和超纯水的比例;所述调节部还用于根据所述第二流量计的反馈控制所述第二阀门的开关状态,以控制向样品瓶内填充的清洗液的量。
9.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述第一清洗槽内设置有超声结构,用于对填充有清洗液的样品瓶进行超声清洗。
10.根据权利要求9所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述第一清洗槽内还设置有第一加热结构,使得所述第一清洗槽内的温度保持在第一预设温度。
11.根据权利要求2所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述第二清洗槽包括超纯水填充结构和第二加热结构,所述超纯水填充结构包括第二超纯水存储部和将所述第二超纯水存储部与所述第二清洗槽连通的进液管道,所述第二加热结构用于将所述第二清洗槽内的温度加热到第二预设温度。
12.根据权利要求9所述的样品瓶清洗装置,其特征在于,所述第一清洗槽复用为所述第二清洗槽,用于对填充有超纯水的样品瓶进行清洗。
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