[实用新型]质量流量控制器及其流体通道组件

权利要求书

1.一种流体通道组件，用于质量流量控制器，其特征在于，所述流体通道组件包括第一本体和第二本体，所述第一本体中形成有进流通道和出流通道中的一者，所述第二本体中形成有所述进流通道和所述出流通道中的另一者，所述第二本体中还形成有主通道，所述主通道将所述进流通道和所述出流通道连通。

2.根据权利要求1所述的流体通道组件，其特征在于，所述进流通道形成在所述第一本体中，所述出流通道形成在所述第二本体中。

3.根据权利要求2所述的流体通道组件，其特征在于，所述出流通道包括第一子通道和第二子通道，所述第一子通道与所述主通道连通，并向远离所述第一本体的方向延伸；

所述第二子通道与所述第一子通道相交并连通，所述出流通道的出流口设置在所述第二子通道远离所述第一子通道的端部，且所述第二子通道垂直于与所述第一子通道或者向靠近或远离所述第一本体的方向倾斜。

4.根据权利要求3所述的流体通道组件，其特征在于，所述第一子通道向远离所述第一本体的方向贯通所述第二本体；

所述流体通道组件还包括密封件，所述密封件设置在所述第一子通道的出口位置，用于对所述第一子通道的出口进行密封。

5.根据权利要求4所述的流体通道组件，其特征在于，所述密封件为柱状件，所述密封件从所述第一子通道的出口插入所述第一子通道，以使得所述密封件的外表面与所述第一子通道的内壁之间密封贴合。

6.根据权利要求2所述的流体通道组件，其特征在于，所述进流通道包括第三子通道和第四子通道，所述第三子通道与所述主通道连通，并向远离所述第二本体的方向延伸；

所述第四子通道与所述第三子通道相交并连通，所述进流通道的进流口设置在所述第四子通道远离所述第三子通道的端部。

7.根据权利要求2所述的流体通道组件，其特征在于，所述进流通道的延伸方向和所述出流通道的延伸方向均与所述主通道的延伸方向平行。

8.根据权利要求7所述的流体通道组件，其特征在于，所述第一本体设有第一凸部，所述第一凸部向背离所述第二本体的方向凸出，所述进流通道的进流口设置在所述第一凸部背离所述第二本体的端面；

所述第二本体设有第二凸部，所述第二凸部向背离所述第一本体的方向凸出，所述出流通道的出流口设置在所述第二凸部背离所述第一本体的端面。

9.一种质量流量控制器，包括流体通道组件和与所述流体通道组件连接的流量控制组件，所述流量控制组件用于对所述流体通道组件内的流体进行流量控制，其特征在于，所述流体通道组件为权利要求1-8中任意一项所述的流体通道组件。

10.根据权利要求9所述的质量流量控制器，其特征在于，所述流量控制组件包括分流器、传感器、流量控制器及电路板，所述分流器设置在所述主通道内，所述传感器与所述主通道连通，所述主通道通过所述流量控制器与所述出流通道连通。