[实用新型]质量流量控制器及其流体通道组件

说明书

本申请提供一种质量流量控制器及其流体通道组件，该流体通道组件包括第一本体和第二本体，第一本体中形成有进流通道和出流通道中的一者，第二本体中形成有进流通道和出流通道中的另一者，第二本体中还形成有主通道，主通道将进流通道和出流通道连通。应用本申请，其结构简单，机械加工难度小，成本低。

技术领域

本申请涉及半导体设备技术领域，具体地，涉及一种质量流量控制器及其流体通道组件。

背景技术

质量流量控制器(Mass Flow Controller，MFC)用于对流体(气体或液体)的质量流量进行精密测量及控制。广泛应用于半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域。

现有的质量流量控制器，通常包括流体通道、传感器、流量调节装置及电路板等部件。其中，流体通道通常包括机械组装在一起的多个部件，各部件之间通常通过螺钉连接。由于质量流量控制器对流体通道的气密性要求较高，故而对该多个部件的机械加工精度及装配精度都具有较高的技术要求。从而导致现有流体通道机械加工难度较高，成本较高等。

实用新型内容

本申请旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一，提出了一种质量流量控制器及其流体通道组件，其结构简单，机械加工难度小，成本低。

为实现本申请的目的，第一方面提供一种流体通道组件，用于质量流量控制器，所述流体通道组件包括第一本体和第二本体，所述第一本体中形成有进流通道和出流通道中的一者，所述第二本体中形成有所述进流通道和所述出流通道中的另一者，所述第二本体中还形成有所述主通道，所述主通道将所述进流通道和所述出流通道连通。

可选地，所述进流通道形成在所述第一本体中，所述出流通道形成在所述第二本体中。

可选地，所述出流通道包括第一子通道和第二子通道，所述第一子通道与所述主通道连通，并向远离所述第一本体的方向延伸；

所述第二子通道与所述第一子通道相交并连通，所述出流通道的出流口设置在所述第二子通道远离所述第一子通道的端部，且所述第二子通道垂直于与所述第一子通道或者向靠近或远离所述第一本体的方向倾斜。

可选地，所述第一子通道向远离所述第一本体的方向贯通所述第二本体；

所述流体通道组件还包括密封件，所述密封件设置在所述第一子通道的出口位置，用于对所述第一子通道的出口进行密封。

可选地，所述密封件为柱状件，所述密封件从所述第一子通道的出口插入所述第一子通道，以使得所述密封件的外表面与所述第一子通道的内壁之间密封贴合。

可选地，所述进流通道包括第三子通道和第四子通道，所述第三子通道与所述主通道连通，并向远离所述第二本体的方向延伸；

所述第四子通道与所述第三子通道相交并连通，所述进流通道的进流口设置在所述第四子通道远离所述第三子通道的端部。

可选地，所述进流通道的延伸方向和所述出流通道的延伸方向均与所述主通道的延伸方向平行。

可选地，所述第一本体设有第一凸部，所述第一凸部向背离所述第二本体的方向凸出，所述进流通道的进流口设置在所述第一凸部背离所述第二本体的端面；

所述第二本体设有第二凸部，所述第二凸部向背离所述第一本体的方向凸出，所述出流通道的出流口设置在所述第二凸部背离所述第一本体的端面。

为实现本申请的目的，第二方面提供一种质量流量控制器，包括流体通道组件和与所述流体通道组件连接的流量控制组件，所述流量控制组件用于对所述流体通道组件内的流体进行流量控制，所述流体通道组件为第一方面所述的流体通道组件。