[实用新型]一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机

权利要求书

1.一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述自动停止装置包括支架、激光位移传感器和探测模块，其中：

所述支架包括呈倒置的L形，包括竖直段和水平段，所述水平段为伸缩杆结构并与竖直段转动连接，使得水平段能够在水平平面内转动且长度能够调整；

所述激光位移传感器安装在支架水平段末端，激光竖直向下发射；

所述探测模块与激光位移传感器电连接；

所述支架安装在机台上，并使激光位移传感器位于抛光盘的上方，激光位移传感器监测抛光盘位移量，探测模块根据位移量控制抛光机的停止。

2.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述支架的竖直段底部设置有底座，所述底座用于通过螺钉与抛光机的机台连接。

3.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述支架的材质为316不锈钢或耐酸碱氟材料。

4.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述支架的水平段与竖直段之间设置有旋转伸缩固定钮，用于锁紧水平段的长度和转动角度。

5.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述激光位移传感器的量程为0mm～200mm，精度为偏差＜1mm。

6.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述激光位移传感器的出射激光光线与支架的水平段之间呈90°。

7.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述激光位移传感器在抛光盘上盘与抛光盘下盘压合状态下，距离抛光盘上盘的间距为150mm，间距偏差＜1mm。

8.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述探测模块设定自动停止的条件为蓝宝石晶片高度与预设值之间的偏差大于5mm。

9.根据权利要求1所述的一种具有自动停止装置的蓝宝石双面抛光机，其特征在于，所述机台上固定两台所述自动停止装置，固定点距离抛光盘圆心10cm，两个固定点对称设置于抛光盘的左前和右后。