[实用新型]除溶剂设备

权利要求书

1.一种除溶剂设备，其特征在于，包括：

密封装置(1)，其内可形成密封腔体(2)；

承载件(3)，其上形成有水平设置的承载面(301)；

温控装置(4)，用于加热所述承载件(3)并使得所述承载件(3)处于预设温度下；以及

抽真空装置(5)，用于将所述密封腔体(2)抽真空并使得所述密封腔体(2)处于预设压强下。

2.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述除溶剂设备还包括旋转装置(6)，所述旋转装置(6)用于驱动所述承载件(3)绕竖直轴线旋转。

3.根据权利要求2所述的除溶剂设备，其特征在于，所述密封腔体(2)内还设置有阻挡装置(7)，所述阻挡装置(7)环绕所述承载件(3)分布。

4.根据权利要求3所述的除溶剂设备，其特征在于，所述阻挡装置(7)包括竖直设置的阻挡段(701)和水平设置的汇集段(702)，且所述承载件(3)的边缘位于所述汇集段(702)的正上方。

5.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述除溶剂设备还包括通过管路依次连接的储液器(8)、加压设备(9)和喷涂装置(10)，所述加压设备(9)用于将所述储液器(8)内的液体通过所述喷涂装置(10)喷涂在所述承载面(301)上。

6.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述抽真空装置(5)与所述密封装置(1)之间设置有冷阱(11)。

7.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述承载件(3)的材质为石英、不锈钢、聚四氟乙烯、铝或硅片。

8.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述预设温度的范围为25℃～250℃。

9.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述预设压强的范围为-0.02Mpa～-0.099MPa。

10.根据权利要求1所述的除溶剂设备，其特征在于，所述密封装置(1)上开设有操作窗口。