[实用新型]一种制绒清洗花篮压杆有效
| 申请号： | 202023029371.2 | 申请日： | 2020-12-16 |
| 公开（公告）号： | CN213878035U | 公开（公告）日： | 2021-08-03 |
| 发明（设计）人： | 庄辉虎;许海堂;杨星 | 申请（专利权）人： | 福建钜能电力有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L31/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 花篮 | ||
【权利要求书】：
1.一种制绒清洗花篮压杆，用于将硅片固定在制绒花篮内，其特征在于：所述压杆由单边椭圆形柱体和两端固定销组成，所述椭圆形柱体固定到制绒花篮上的断面图形呈倒水滴状。
2.根据权利要求1所述一种制绒清洗花篮压杆，其特征在于：所述椭圆形柱体内芯为实心碳棒或空心高强度金属套管，包裹外芯的为PVDF/铁氟龙等耐酸碱耐高温材质。
3.根据权利要求1所述一种制绒清洗花篮压杆，其特征在于：所述椭圆形柱体表面为无卡齿设计及疏水层设计的光滑直杆，表面覆盖一层疏水性材质。
4.根据权利要求1所述一种制绒清洗花篮压杆，其特征在于：所述椭圆形柱体其外形为单边椭圆，椭圆短边半径小于5.5毫米，椭圆长边半径8.5-10.5毫米。
5.根据权利要求1所述一种制绒清洗花篮压杆，其特征在于：所述的花篮压杆与制绒花篮匹配使用，所述的压杆嵌入花篮后，其下边缘与花篮内硅片上边缘距离0.5～3.5mm。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
