[实用新型]一种拉晶炉

权利要求书

1.一种拉晶炉，其特征在于，包括：

炉体，所述炉体内限定有腔室，所述炉体的顶部设有与所述腔室连通的拉晶口，所述炉体的底壁设有与所述腔室连通的出口；

基座，所述基座设在所述腔室内；

坩埚，所述坩埚设在所述基座上；

排气结构，所述排气结构包括排气管与活动件，所述排气管设在所述出口中；所述活动件设在所述排气管中，且所述活动件止抵所述排气管的内侧壁，所述活动件的至少部分沿所述排气管的内侧壁可活动。

2.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述活动件为弹簧，所述弹簧的至少部分沿所述排气管的内侧壁在所述排气管的轴向方向上可移动。

3.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述弹簧的部分与所述排气管的内侧壁连接。

4.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述弹簧的表面设有刷毛或突起。

5.根据权利要求2所述的拉晶炉，其特征在于，所述弹簧上设有驱动板，所述驱动板在第一平面上的正投影位于所述弹簧在所述第一平面上的正投影内，所述第一平面垂直于所述排气管的轴向方向。

6.根据权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，所述弹簧上设有多个所述驱动板，多个所述驱动板沿着所述弹簧的周向方向间隔开设置。

7.根据权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，所述驱动板设在所述弹簧的上端，所述驱动板沿所述弹簧的径向方向向内延伸。

8.根据权利要求5所述的拉晶炉，其特征在于，所述弹簧围绕所述排气管的轴线方向可旋转。

9.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述炉体的底部设有多个所述出口，每个所述出口中分别设置一个所述排气结构。

10.根据权利要求9所述的拉晶炉，其特征在于，多个所述出口沿所述炉体的周向间隔开分布。

11.根据权利要求9所述的拉晶炉，其特征在于，所述炉体的外部分别设有支管和汇流管，每个所述排气结构中的所述排气管分别与对应的所述支管的一端连通，每个所述支管的另一端分别与所述汇流管连通。

12.根据权利要求1所述的拉晶炉，其特征在于，所述坩埚的外侧设有加热器，所述加热器与所述炉体的内壁之间设有隔热材料；和/或

所述基座的外侧壁上设有隔热材料。