[实用新型]一种拉晶炉

说明书

本实用新型提供一种拉晶炉，包括：炉体，炉体内限定有腔室，炉体的顶部设有与腔室连通的拉晶口，炉体的底壁设有与腔室连通的出口；基座，基座设在腔室内；坩埚，坩埚设在基座上；排气结构，排气结构包括排气管与活动件，排气管设在出口中；活动件设在排气管中，且活动件止抵排气管的内侧壁，活动件的至少部分沿排气管的内侧壁可活动。在本实用新型的实施例中，通过活动件的至少部分沿排气管的内侧壁的活动可以清理排气管的内侧壁上的沉积物，解决了排气管内壁沉积物不易清理的问题，使得尾气正常排出，避免影响拉晶炉内的气压，有利于晶体的稳定生长。

技术领域

本实用新型涉及拉晶炉技术领域，具体涉及一种拉晶炉。

背景技术

拉晶过程中需向拉晶炉内充入惰性气体，一是维持炉内压力恒定，给晶体一个稳定的生长空间；二是带走晶体生长过程中生成的大量氧化硅气体及不纯物，避免这些物质大量沉积在热场部件表面，影响其正常使用。拉晶炉的排气系统保证了尾气及不纯物的正常排出，当尾气经过排气管时，会发生反应沉积现象，排气管易被阻塞，影响尾气的正常排出，同时也影响拉晶炉内的气压，不利于晶体的稳定生长。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供一种拉晶炉，用以解决拉晶炉中的排气管内壁沉积物不易清理，影响尾气排出和炉内压力的问题。

本实用新型实施例提供一种拉晶炉，包括：

炉体，所述炉体内限定有腔室，所述炉体的顶部设有与所述腔室连通的拉晶口，所述炉体的底壁设有与所述腔室连通的出口；

基座，所述基座设在所述腔室内；

坩埚，所述坩埚设在所述基座上；

排气结构，所述排气结构包括排气管与活动件，所述排气管设在所述出口中；所述活动件设在所述排气管中，且所述活动件止抵所述排气管的内侧壁，所述活动件的至少部分沿所述排气管的内侧壁可活动。

其中，所述活动件为弹簧，所述弹簧的至少部分沿所述排气管的内侧壁在所述排气管的轴向方向上可移动。

其中，所述弹簧的部分与所述排气管的内侧壁连接。

其中，所述弹簧的表面设有刷毛或突起。

其中，所述弹簧上设有驱动板，所述驱动板在第一平面上的正投影位于所述弹簧在所述第一平面上的正投影内，所述第一平面垂直于所述排气管的轴向方向。

其中，所述弹簧上设有多个所述驱动板，多个所述驱动板沿着所述弹簧的周向方向间隔开设置。

其中，所述驱动板设在所述弹簧的上端，所述驱动板沿所述弹簧的径向方向向内延伸。

其中，所述弹簧围绕所述排气管的轴线方向可旋转。

其中，所述炉体的底部设有多个所述出口，每个所述出口中分别设置一个所述排气结构。

其中，多个所述出口沿所述炉体的周向间隔开分布。

其中，所述炉体的外部分别设有支管和汇流管，每个所述排气结构中的所述排气管分别与对应的所述支管的一端连通，每个所述支管的另一端分别与所述汇流管连通。

其中，所述坩埚的外侧设有加热器，所述加热器与所述炉体的内壁之间设有隔热材料；和/或

所述基座的外侧壁上设有隔热材料。

为解决上述技术问题，本实用新型采用以下技术方案：