[实用新型]一种含氟C4F8电子气体纯化设备有效
| 申请号： | 202023051970.4 | 申请日： | 2020-12-17 |
| 公开（公告）号： | CN213913041U | 公开（公告）日： | 2021-08-10 |
| 发明（设计）人： | 叶小丽;刘文丽;李飞娥;王俊果;郭帅杰;韩列光;姬文博;刘乐通 | 申请（专利权）人： | 伊川湄格气体有限公司 |
| 主分类号： | B01D53/04 | 分类号： | B01D53/04;B01D53/26;B01D53/00;B01D3/14;B01D3/32 |
| 代理公司： | 河南广文律师事务所 41124 | 代理人： | 王自刚 |
| 地址： | 471311 *** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 c4f8 电子 气体 纯化 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种含氟C4F8电子气体纯化设备，其特征是：包括：分子筛装置、多级吸附装置、精馏装置，所述分子筛装置输入端与含氟C4F8电子气体联通，分子筛装置输出端通过管路与多级吸附装置输入端联通，多级吸附装置输出端通过管路与精馏装置联通；所述分子筛装置为多个的3A分子筛并联联通组成。
2.根据权利要求1所述的一种含氟C4F8电子气体纯化设备，其特征是：所述多级吸附装置为多个由第一吸附装置至第二吸附装置串联组成，每个吸附装置由若干吸附器通过阀门及管道并联联通。
3.根据权利要求1所述的一种含氟C4F8电子气体纯化设备，其特征是：所述精馏装置由精馏塔、冷疑器和再沸器组成，所述精馏塔顶端连接冷疑器，精馏塔底端连接再沸器。
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