[实用新型]一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置有效

专利信息
申请号: 202023055833.8 申请日: 2020-12-17
公开(公告)号: CN213902220U 公开(公告)日: 2021-08-06
发明(设计)人: 周峰;贺贤汉 申请(专利权)人: 上海中欣晶圆半导体科技有限公司
主分类号: G01B5/28 分类号: G01B5/28;G01B5/06
代理公司: 上海申浩律师事务所 31280 代理人: 龚敏
地址: 200444 上*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 抛光 平坦 以及 去除 快速 测定 装置
【权利要求书】:

1.一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,包括一支架以及安装在支架上的万分表,其特征在于,所述支架上从左至右依次开设有三个等间距排布且用于安装万分表的安装孔;

所述万分表的表头从上至下穿过所述安装孔,且所述万分表通过锁紧机构固定在所述支架上;

所述支架的底部安装有三个支撑脚,三个支撑脚的中心围成等腰三角形结构,所述三个支撑脚中两个支撑脚分别位于所述支架的底部的左前侧以及左后侧,且位于所有的安装孔的左方,另一个支撑脚位于所述支架底部的右侧,且位于所有的安装孔的右方。

2.根据权利要求1所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述支架包括矩形框以及条状结构,所述矩形框与所述条状结构相连构成所述支架;

所述条状结构上开设有所述安装孔;

所述矩形框的前后两端安装有两个所述支撑脚;

所述条状结构的右端安装有一个所述支撑脚。

3.根据权利要求2所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述条状结构上相邻的安装孔之间开设有一圆角矩形孔。

4.根据权利要求2所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:三个安装孔位于最左侧的安装孔的中心与最右侧安装孔的中心之间的间距为190mm。

5.根据权利要求4所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述条状结构上位于最右侧的安装孔的中心与所述条状结构上的支撑脚中心的间距为10mm。

6.根据权利要求5所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述支架左右方向上的长度为256mm。

7.根据权利要求6所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述矩形框的前后方向上的宽度为70mm,所述条状结构前后方向上的宽度为30mm。

8.根据权利要求7所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述矩形框上安装的两个支撑脚的间距为54mm。

9.根据权利要求1所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述支架的材质是铸铁;

所述支撑脚的材质是聚醚醚酮。

10.根据权利要求1所述的一种抛光片平坦度以及去除量的快速测定装置,其特征在于:所述支架是长度可调的支架;

所述支架包括左端部、中间部以及右端部,所述左端部、所述中间部以及所述右端部均开设有一个所述安装孔;

所述中间部上设有向左延伸的延伸柱以及向右延伸的延伸柱;

所述左端部以及所述右端部均开设有用于穿过延伸柱的引导孔;

所述左端部螺纹连接有左螺杆,所述左螺杆的右端与所述中间部通过轴承转动连接;

所述右端部螺纹连接有右螺杆,所述右螺杆的左端与所述中间部通过轴承转动连接。

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